[发明专利]压电振动器的制造方法、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟

权利要求书

1.一种压电振动器的制造方法，使用基底基板用圆片和盖基板用圆片来制造多个在形成于互相接合的基底基板与盖基板之间的空腔内密封有压电振动片的压电振动器，其特征在于该方法具备：

接合工序，将所述压电振动片收纳于各个所述空腔，将所述基底基板用圆片和所述盖基板用圆片接合而形成圆片体；和

切断工序，将所述圆片体切断而小片化成多个所述压电振动器，其中，

所述切断工序具备：

在所述基底基板用圆片侧的外表面或所述盖基板用圆片侧的外表面沿着切断线形成多个微小槽的工序；和

断裂工序，从与所述圆片体的形成有所述微小槽的一侧相反的一侧按压所述圆片体，沿着所述微小槽分割所述圆片体。

2.如权利要求1所述的压电振动器的制造方法，其特征在于：

在所述断裂工序中，在将所述圆片体沿着所述压电振动器的宽度方向切断之后，沿着所述压电振动器的长度方向切断。

3.如权利要求1所述的压电振动器的制造方法，其特征在于：

在所述切断工序中，在将具有伸缩性的膜贴附于形成有所述微小槽的一方的面的状态下，分割所述圆片体。

4.如权利要求1所述的压电振动器的制造方法，其特征在于：

在形成所述微小槽时，取得所述圆片体的图像，根据所取得的图像的浓淡而决定形成微小槽的位置。

5.一种压电振动器，其特征在于：

通过权利要求1至4的任一项所述的压电振动器的制造方法而制造。

6.一种振荡器，其特征在于：

权利要求5所述的压电振动器作为振子与集成电路电连接。

7.一种电子设备，其特征在于：

权利要求5所述的压电振动器与计时部电连接。

8.一种电波钟，其特征在于：

权利要求5所述的压电振动器与滤波部电连接。