[发明专利]光学测量装置和光学测量方法

权利要求书

1.一种光学测量装置，用于测量透明基板，其特征在于，包括：

照明单元，用于照亮所述透明基板的待测面；

成像单元，用于使所述待测面成像；

数据获取单元，位于所述待测面的像面位置处，用于根据所述待测面像获取待测面的缺陷信息。

2.如权利要求1所述的光学测量装置，其特征在于，所述光学测量装置还包括固定所述透明基板的固定器件，所述固定器件与所述透明基板的待测面相接触。

3.如权利要求2所述的光学测量装置，其特征在于，所述固定器件为支撑式固定器件，所述透明基板位于所述支撑式固定器件的上方，所述透明基板的待测面与所述支撑式固定器件的上表面相接触。

4.如权利要求3所述的光学测量装置，其特征在于，所述成像单元位于支撑式固定器件的上方，所述数据获取单元位于所述成像单元的上方。

5.如权利要求3所述的光学测量装置，其特征在于，所述支撑式固定器件为基台。

6.如权利要求2所述的光学测量装置，其特征在于，所述固定器件为悬挂式固定器件，所述透明基板的待测面与所述悬挂式固定器件的底部相接触。

7.如权利要求6所述的光学测量装置，其特征在于，所述固定器件包括固定于透明基板上表面边缘位置处的两个悬挂式固定器件，所述透明基板位于所述两个悬挂式固定器件的下方，所述透明基板的待测面与所述两个悬挂式固定器件的底部相接触。

8.如权利要求6或7所述的光学测量装置，其特征在于，所述成像单元位于透明基板下方，所述数据获取单元位于所述成像单元的下方。

9.如权利要求7所述的光学测量装置，其特征在于，所述成像单元位于透明基板上方，所述数据获取单元位于所述成像单元的上方。

10.如权利要求7所述的光学测量装置，其特征在于，所述悬挂式固定器件包括固定部、连接部、吸盘，所述固定部通过连接部与吸盘连接在一起，所述吸盘与所述透明基板上表面的边缘位置处相接触。

11.如权利要求7所述的光学测量装置，其特征在于，所述悬挂式固定器件包括固定部、连接部、夹持部，所述固定部通过连接部与夹持部的顶面连接在一起，透明基板的端部嵌入至所述夹持部内，与夹持部紧密接触，以实现固定。

12.如权利要求1所述的光学测量装置，其特征在于，所述照明单元包括至少一个光源，所述光源发出的光掠入射至待测面。

13.如权利要求12所述的光学测量装置，其特征在于，所述照明单元包括位于待测面任意一侧的光源。

14.如权利要求12所述的光学测量装置，其特征在于，所述照明单元包括分别位于待测面相对侧的两个光源。

15.如权利要求14所述的光学测量装置，其特征在于，所述光学测量装置还包括用于承载所述透明基板的基台，所述透明基板的待测面与基台表面相接触，所述两个光源装配于基台侧面，所述两个光源的发光面朝向基台。

16.如权利要求12～15任意一权利要求所述的光学测量装置，其特征在于，所述光源为线性灯或线性激光。

17.如权利要求12所述的光学测量装置，其特征在于，所述光源发出的光入射待测面的入射角在80～90°的范围内。

18.如权利要求1所述的光学测量装置，其特征在于，所述成像单元为凸透镜。

19.如权利要求1所述的光学测量装置，其特征在于，所述数据获取单元为图像传感器。

20.如权利要求19所述的光学式测量装置，其特征在于，所述图像传感器为CMOS图像传感器或CCD图像传感器。

21.如权利要求1所述的光学式测量装置，其特征在于，所述成像单元和所述数据获取单元集成在一起。

22.如权利要求1所述的光学测量装置，其特征在于，所述光学测量装置还包括扫描单元，所述扫描单元与成像单元和数据获取单元固定在一起，所述扫描单元能沿与待测面平行的平面移动，以带动所述成像单元和所述数据获取单元移动，获取待测面不同位置处的缺陷信息。