[发明专利]光学测量装置和光学测量方法

说明书

技术领域

本发明涉及光学仪器技术领域，尤其涉及一种光学测量装置和光学测量方法。

背景技术

玻璃具有透明、强度高、不透气的特点，在日常环境中呈化学惰性，也不会与生物起作用，因此用途非常广泛。常见的玻璃包括汽车玻璃、平板玻璃、保温玻璃等。

在玻璃制造过程中，难免会在玻璃内部或玻璃表面形成诸如划伤、污点、颗粒等的缺陷。如何能检查出玻璃内部或玻璃表面的上述缺陷成为本领域技术人员亟待解决的问题之一。

现有技术的测量装置中通常采用自动光学检测系统(Automatic Optical Inspection，AOI)检测玻璃的缺陷，所述光学测量装置结构比较复杂、成本较高。

而现有技术成本较低测量装置的测量准确度有限、无法获知所述缺陷所在面，这样就无法有针对性地改善玻璃制造工艺，以避免玻璃表面缺陷的产生。

更多关于测量玻璃缺陷的光学测量装置的技术方案可参考公告号为CN101652625B的中国专利，所述中国专利公开的技术方案也未能解决上述技术问题。

发明内容

本发明解决的技术问题是提供一种测量准确度较高的光学测量装置和光学测量方法。

为了解决上述问题，本发明提供一种光学测量装置，用于测量透明基板，包括：照明单元，用于照亮所述透明基板的待测面；成像单元，用于使所述待测面成像；数据获取单元，位于所述待测面的像面位置处，用于根据所述待测面像获取待测面的缺陷信息。

可选地，所述光学测量装置还包括固定所述透明基板的固定器件，所述固定器件与所述透明基板的待测面相接触。

可选地，所述固定器件为支撑式固定器件，所述透明基板位于所述支撑式固定器件的上方，所述透明基板的待测面与所述支撑式固定器件的上表面相接触。

可选地，所述成像单元位于支撑式固定器件的上方，所述数据获取单元位于所述成像单元的上方。

可选地，所述支撑式固定器件为基台。

可选地，所述固定器件为悬挂式固定器件，所述透明基板的待测面与所述悬挂式固定器件的底部相接触。

可选地，所述固定器件包括固定于透明基板上表面边缘位置处的两个悬挂式固定器件，所述透明基板位于所述两个悬挂式固定器件的下方，所述透明基板的待测面与所述两个悬挂式固定器件的底部相接触。

可选地，所述成像单元位于透明基板下方，所述数据获取单元位于所述成像单元的下方。

可选地，所述成像单元位于透明基板上方，所述数据获取单元位于所述成像单元的上方。

可选地，所述悬挂式固定器件包括固定部、连接部、吸盘，所述固定部通过连接部与吸盘连接在一起，所述吸盘与所述透明基板上表面的边缘位置处相接触。

可选地，所述悬挂式固定器件包括固定部、连接部、夹持部，所述固定部通过连接部与夹持部的顶面连接在一起，透明基板的端部嵌入至所述夹持部内，与夹持部紧密接触，以实现固定。

可选地，所述照明单元包括至少一个光源，所述光源发出的光掠入射至待测面。

可选地，所述照明单元包括位于待测面任意一侧的光源。

可选地，所述照明单元包括分别位于待测面相对侧的两个光源。

可选地，所述光学测量装置还包括用于承载所述透明基板的基台，所述透明基板的待测面与基台表面相接触，所述两个光源装配于基台侧面，所述两个光源的发光面朝向基台。

可选地，所述光源为线性灯或线性激光。

可选地，所述光源发出的光入射待测面的入射角在80～90°的范围内。

可选地，所述成像单元为凸透镜。

可选地，所述数据获取单元为图像传感器。

可选地，所述图像传感器为CMOS图像传感器或CCD图像传感器。

可选地，所述成像单元和所述数据获取单元集成在一起。

可选地，所述光学测量装置还包括扫描单元，所述扫描单元与成像单元和数据获取单元固定在一起，所述扫描单元能沿与待测面平行的平面移动，以带动所述成像单元和所述数据获取单元移动，获取待测面不同位置处的缺陷信息。

可选地，还包括扫描单元，所述扫描单元与所述数据获取单元固定在一起，所述扫描单元用于沿与待测面垂直的方向移动，用于带动数据获取单元移动，以使数据获取单元位于所述待测面像的像面位置处。

可选地，所述透明基板为玻璃。