[发明专利]真空吸附装置有效
申请号: | 201210111025.X | 申请日: | 2012-04-13 |
公开(公告)号: | CN102758831A | 公开(公告)日: | 2012-10-31 |
发明(设计)人: | 崔汉铉;朴成模 | 申请(专利权)人: | 塔工程有限公司 |
主分类号: | F16B47/00 | 分类号: | F16B47/00 |
代理公司: | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人: | 张文;郭放 |
地址: | 韩国庆*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空 吸附 装置 | ||
1.一种真空吸附装置,包括:
基板,所述基板中具有真空孔;
真空板,所述真空板放置在所述基板上,且在所述真空板中形成有多个吸孔;
多孔膜,所述多孔膜设置在所述基板和所述真空板之间;以及
加强板,所述加强板介于所述基板和所述多孔膜之间,且在所述加强板中形成有多个连通孔,
其中,在所述基板和所述加强板之间形成有真空分布空间。
2.如权利要求1所述的真空吸附装置,其中,所述连通孔设置成使得在所述多孔膜位于所述连通孔和所述吸孔之间的情况下所述连通孔面对所述吸孔并与所述吸孔连通。
3.如权利要求2所述的真空吸附装置,其中,所述连通孔中每个的横截面积比所述吸孔中每个的横截面积大。
4.如权利要求1至3中任一项所述的真空吸附装置,其中,所述多孔膜包括SunmapTM。
5.如权利要求1至3中任一项所述的真空吸附装置,其中,在所述多孔膜中形成有开口,使得至少一个吸孔经由所述开口开放。
6.如权利要求5所述的真空吸附装置,其中,所述开口形成在由具有不同尺寸的玻璃面板共同覆盖的区域内。
7.如权利要求1至3中任一项所述的真空吸附装置,其中,在所述基板上设置有分隔件,使得所述真空分布空间由所述分隔件分隔成多个部分。
8.如权利要求1至3中任一项所述的真空吸附装置,其中,在所述真空分布空间中支撑部件从所述基板朝所述真空板突出。
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