[发明专利]真空吸附装置

说明书

技术领域

本发明总体上涉及一种真空吸附装置，更具体地涉及一种能对具有不同尺寸的多种玻璃面板施加吸附并保持它们的真空吸附装置。

背景技术

一般而言，PDP(等离子显示面板)、LCD(液晶显示器)、LED(发光二极管)显示器、有机EL(电致发光)面板、无机EL面板、透明投影仪面板、反射性投影仪面板等广泛用作平板显示器。生产这些平板显示器包括将脆性的母玻璃面板(下文简称为“玻璃面板”)切割成预定尺寸。

切割玻璃面板包括划线工艺和断开工艺，划线工艺是利用由诸如钻石的材料所制成的工具(划线轮)在玻璃面板上形成划线，断开工艺是通过下压玻璃面板并对其施加弯矩或者通过加热或冷却划线裂纹的附近而断开玻璃面板。

典型地，使用真空吸附工作台实施断开玻璃面板的工艺。真空吸附工作台吸附和保持玻璃面板，并转动玻璃面板或线性地移动玻璃面板，从而对齐玻璃面板或者容许实施划线或断开工艺。

真空吸附工作台的结构通常是真空吸附装置连接到诸如真空泵等真空发生装置的结构。在玻璃面板被放置在真空吸附工作台的上表面上之后，真空发生装置操作，使得真空吸附装置利用真空吸附力保持玻璃面板。

下文，将参照图1解释用在传统真空吸附工作台中的代表性真空吸附装置10(下文称作“传统技术1”)。

如图1所示，传统技术1的真空吸附装置10包括基板13和真空板12，基板13具有连接到诸如真空泵等真空发生装置(未示出)的真空孔14，真空板12放置在基板13上并具有多个吸孔11。真空分布空间15形成在真空板12和基板13之间，并与吸孔11和真空孔14连通。

真空压力从诸如真空泵等真空发生装置(未示出)经由真空孔14、真空分布空间15、以及真空板12的吸孔11传送到玻璃面板，因此施加真空，真空保持置于真空板12上的玻璃面板30。

真空分布空间15作用为将真空压力均匀地分布到真空板12的吸孔11。

然而，传统技术1的真空吸附装置10设计成使得真空板12和基板13仅能吸附和保持具有特定尺寸的玻璃面板30。换言之，对真空吸附装置10而言，难于吸附和保持具有不同尺寸的不同类型的玻璃面板。

因此，如果置于真空板12上的玻璃面板30并未覆盖吸孔11中的一些，则真空压力通过未被玻璃面板30覆盖的吸孔11泄漏，使得不可能吸附和保持玻璃面板30。

在试图克服上述问题的过程中，提出了真空吸附装置10’(下文称作“传统技术2”)，其中，如图2所示，在真空板12’和基板13’之间所形成的真空分布空间15’中设置分隔件16’，使得该装置能吸附和保持具有不同尺寸的多种玻璃面板30’。在附图中，参考标号14’标示形成在基板13’中的真空孔。

然而，传统技术2仅能吸附和保持与真空分布空间15’的多个部分的尺寸相对应的特定类型的玻璃面板30’。因此，该装置仍难于适应具有不同尺寸的多种玻璃面板。

因此，需要开发这样的真空吸附装置，其具有能对具有不同尺寸的多种玻璃面板施加吸附并保持这些玻璃面板的改进结构。

发明内容

因此，本发明针对现有技术中存在的上述问题，且本发明的目的是提供一种真空吸附装置，其最小化真空压力损失，因此使得可以施加吸附到具有不同尺寸的多种玻璃面板并保持这些玻璃面板。

为了实现上述目的，本发明提供一种真空吸附装置，其包括：基板，所述基板中具有真空孔；真空板，所述真空板放置在所述基板上，且在所述真空板中形成有多个吸孔；多孔膜，所述多孔膜设置在所述基板和所述真空板之间；以及加强板，所述加强板介于所述基板和所述多孔膜之间，且在所述加强板中形成有多个连通孔，其中，在所述基板和所述加强板之间形成有真空分布空间。

所述连通孔可设置成使得在所述多孔膜位于所述连通孔和所述吸孔之间的情况下所述连通孔面对所述吸孔并与所述吸孔连通。

进一步地，所述连通孔中每个的横截面积可比所述吸孔中每个的横截面积大。

所述多孔膜可包括Sunmap^TM。

另外，在所述多孔膜中可形成有开口，使得至少一个吸孔经由所述开口开放。

所述开口可形成在由具有不同尺寸的玻璃面板共同覆盖的区域内。

此外，在所述基板上可设置有分隔件，使得所述真空分布空间由所述分隔件分隔成多个部分。

在所述真空分布空间中支撑部件可从所述基板朝所述真空板突出。

附图说明

从参照附图的以下详述中将更清楚理解本发明的上述以及其它目的、特征和优点，其中：

图1是示出传统真空吸附装置的剖视图；