[发明专利]一种瓶装硅烷样品色谱分析取样系统无效
| 申请号： | 201210111634.5 | 申请日： | 2012-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN102620957A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 陈军;林培川 | 申请（专利权）人： | 南京特种气体厂有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/24 | 分类号： | G01N1/24;G01N30/30 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 程化铭 |
| 地址： | 211113 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 瓶装 硅烷 样品 色谱 分析 取样 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种瓶装硅烷样品色谱分析取样系统，包括色谱分析仪、氦气钢瓶、标准气体钢瓶、真空泵、氦气阀门V1、标准气阀门V2、单向阀、样品气阀门V3、减压阀、真空泵阀门V4、放空阀门V5；其特征是：单向阀、样品气阀门V3、真空泵阀门V4、放空阀V5并联连接在减压阀上，氦气阀门V1和标准气阀门V2并联连接在单向阀上；氦气阀门V1接氦气钢瓶，标准气阀门V2接标准气体钢瓶，真空泵阀门V4接真空泵，减压阀接色谱分析仪。
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