[发明专利]粉末料装料投炉铸锭提纯方法

说明书

技术领域

该发明涉及一种多晶硅铸锭技术领域，具体是一种将粉料超过90％的硅料装料提纯的方法。

背景技术

粉末料为流化床法生产硅原料的附属产品，将其用于铸锭提纯时，其易被抽真空抽出或被返充气吹出，因此铸锭时通常使用大量废弃层回收料覆盖在粉料上面，目前铸锭提纯粉料用量一般不超过50％。所以使用粉末料提纯需要较多的废弃层回收料，并没有真正实现粉末料提纯，且提纯受到废弃层回收料库存的限制。

发明内容

本发明的目的是，提供一种可以不使用废弃层回收料，并能大量使用粉末料装料铸锭提纯的方法。采用本方法提纯粉末料可以不受废弃层回收料库存的限制。

技术方案：一种粉末料装料投炉铸锭提纯方法，包括以下步骤：

a)将粉末料压制成圆柱体粉棒，

b)使用硅片铺在坩埚底部和侧壁；

c)将粉棒和粉末料逐层摆放，所述粉棒竖直排列；去除硅料及坩埚上的粉尘；

d)将硅料投炉，取消设备返充气程序，缓速抽真空后铸锭运行。

最上面一层竖直摆放的粉棒下面铺放一层硅片；硅片厚度为6-8片。所述坩埚底部和侧壁摆放2-3片完整的硅片。所述硅片片厚100um-300um，尺寸为：长156±0.5mm，宽156±0.5mm。

所述竖直排列的粉棒层的排列方式为横纵各13排，共169根粉棒。最上面一层竖直摆放的粉棒上面再横卧摆放一层粉棒。所述横卧摆放的粉棒层的排列方式为横纵分别为12排和8排，共96根粉棒。所述粉棒的外形尺寸为高85±3mm，底部直径63±2mm。

所述硅片上铺放10-15kg粉末料，使其表面平整。

有益效果：本发明可以不使用废弃层回收料，并能大量使用粉末料装料铸锭提纯；采用本方法提纯粉末料可以不受废弃层回收料库存的限制。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面对本发明的优选实施例进行详细的描述。

a.将粉末料压制成高85±3mm，底部直径63±2mm的圆柱体，称为粉棒。

b.在坩埚底部铺完整的硅片，厚度为2-3片，在坩埚侧壁每侧竖直摆放完整硅片，厚度为2-3片。

c.在硅片上铺放10-15kg粉末料，使其表面平整。

d.在粉末料上按13*13竖直摆放169根粉棒。

e.在粉棒上铺放10-15kg粉末料，使其表面平整。

f.在坩埚侧壁竖直摆放完整硅片，厚度为2-3片。

g.在粉末料上按13*13竖直摆放169根粉棒。

h.在粉棒上铺放10-15kg粉末料，使其表面平整。

i.在坩埚侧壁竖直摆放完整硅片，厚度为2-3片。

j.在粉末料上按13*13竖直摆放169根粉棒。

k.在粉棒上铺放10-15kg粉末料，使其表面平整。

l.在粉末料表面铺完整的硅片，厚度为6-8片，在坩埚侧壁竖直摆放完整硅片，厚度为2-3片，。

m.在硅片上按13*13竖直摆放169根粉棒。

n.在最上层按12*8横卧摆放96根粉棒。

o.除去硅料及坩埚表面粉尘，将硅料投入铸锭炉中，若运行程序中有返充气过程将其取消掉，压力下降速率控制为0.07±0.005mbar/s，抽气至炉内压力小于0.04mbar即可运行铸锭程序。