[发明专利]用于防止图案膜上的图案弯曲的控制装置

权利要求书

1.一种用于防止图案弯曲的控制装置，所述控制装置用于包括膜传送设备和图案形成设备的图案膜制作装置，所述控制装置包括：

标记单元，所述标记单元在所述膜的预定参考位置上形成标记，使用所述膜传送设备作为参考定位所述预定参考位置；

识别单元，所述识别单元位于所述标记单元的后部，且识别在所述膜上的所述标记的位置；

运算单元，所述运算单元基于所述标记的所述参考位置和被识别的位置之间的差值计算弯曲的量；

控制单元，所述控制单元产生校正信号，所述校正信号对应于所计算的弯曲的量来校正所述标记单元和所述图案形成设备的位置；和

校正单元，所述校正单元接收所述校正信号和基于所接收的所述校正信号校正所述标记单元和所述图案形成设备的位置。

2.根据权利要求1所述的控制装置，其中，所述标记单元包括在所述膜上周期性地形成标记的标记构件。

3.根据权利要求2所述的控制装置，其中，所述运算单元基于所述标记构件的参考位置和所述标记的所述被识别的位置之间的差值来计算由所述膜的中心轴线的横向移动引起的所述弯曲的量，所述膜的中心轴线的横向移动对应于在垂直于所述膜的传送方向的方向上所述膜的中心轴线的移动距离L。

4.根据权利要求3所述的控制装置，其中，所述控制单元根据在垂直于所述膜的所述传送方向的方向上的所述距离L，产生用于移动所述标记单元和所述图案形成设备的位置的所述校正信号。

5.根据权利要求1所述的控制装置，其中，所述标记单元包括：

第一标记构件；和

第二标记构件，所述第二标记构件在膜的传送方向上与所述第一标记构件相距距离d1处，在垂直于所述膜的所述传送方向的方向上与所述第一标记构件相距距离d2。

6.根据权利要求5所述的控制装置，其中，所述标记单元还包括当所述标记形成时调节所述第一标记构件和所述第二标记构件之间的距离的构件。

7.根据权利要求5所述的控制装置，其中，所述第一标记构件或所述第二标记构件的位置被固定。

8.根据权利要求6或7所述的控制装置，其中，所述运算单元使用所述第一标记构件或所述第二标记构件的参考位置与由所述第一标记构件或所述第二标记构件标记的实际位置之间的距离的差值和距离d1与距离d2来计算弯曲距离L和弯曲角度θ。

9.根据权利要求8所述的控制装置，其中，所述控制单元根据所述距离L和所述角度θ产生用于校正所述标记单元和所述图案形成设备的位置的所述校正信号。

10.根据权利要求1或5所述的控制装置，其中，所述识别单元包括：

相机组件，所述相机组件周期性地捕捉包括所述膜的所述标记的图像；和周期性地储存所捕捉的图像并且从所捕捉的图像计算所述标记的坐标的构件。

11.根据权利要求1或5所述的控制装置，其中，所述识别单元还包括区分噪声和所述标记的构件。

12.根据权利要求1或5所述的控制装置，其中，所述运算单元还包括周期性地累加所述弯曲的量的部件。

13.根据权利要求12所述的控制装置，其中，所述弯曲的量包括弯曲距离L和/或弯曲角度θ。

14.根据权利要求13所述的控制装置，其中，当由所述运算单元累加的所述弯曲距离L比预定阈值大和/或由所述运算单元累加的所述弯曲角度θ比预定阈值大时，所述控制单元产生所述校正信号。

15.根据权利要求5所述的控制装置，其中，所述控制单元产生用于所述第一标记构件或所述第二标记构件的校正信号。

16.根据权利要求1或5所述的控制装置，其中，所述图案形成设备包括被布置在与所述膜的所述传送方向垂直的方向上的掩模或辊。

17.根据权利要求1或5所述的控制装置，还包括初始化单元，所述初始化单元在通过所述校正单元校正所述图案形成设备和所述标记单元的位置之后设定所述图案形成设备和所述标记单元的校正位置作为参考位置。