[发明专利]用于防止图案膜上的图案弯曲的控制装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于防止图案弯曲的控制装置，该装置可以在膜的确切位置上标记图案。

背景技术

伴随对高清三维显示器的爆炸性需求，对精密图案光学膜的需求也随之增加。通过例如JP 2003-337，226公开的在板型基膜上形成图案，可以制作图案膜。然而，在很多情况下，考虑到制作等，在逐渐退绕膜的同时通过在卷绕型基膜上形成图案，制作图案膜。

由于各种原因发生图案弯曲。例如，当膜还没有被适当卷绕时，膜的中心轴线可以偏移。即使膜已适当卷绕，当膜没有被适当地平衡或外力被施加到膜时可以发生弯曲。

不考虑该原因，由于当弯曲发生时弯曲导致膜质量上的缺陷，不能在膜上形成精确的图案。图1a示出不考虑弯曲时，图案形成设备在恒定位置形成图案，以及图1b示出在图1a已经形成的膜上图案的实际轨迹。

此外，特别是当制造用于三维显示器的图案膜时，不精确的图案可导致构造正确三维图像的问题。

边缘位置控制器(EPC)通常用于防止图案的弯曲。然而，因为EPC仅可以毫米级控制图案的位置，所以对于形成微米级的图案存在限制。

与此同时，还有通过比较在膜上形成的图案之间的距离用于识别图案弯曲的另一方法，然而，该方法仅在形成图案之后才可以检测弯曲。因此，需要用于实时监测图案弯曲的新技术。

发明内容

技术问题

本发明将提供一种能够控制膜上的图案弯曲的装置。

本发明将提供一种能够在图案在膜上被标记之前检测图案弯曲和能够校正图案的标记位置的控制装置。

本发明将提供一种仅使用控制装置或结合边缘位置控制器控制图案弯曲的方法。

技术手段

本发明提供一种用于防止图案弯曲的控制装置，该控制装置用于包括膜传送设备和图案形成设备的图案膜制作装置，该控制装置包括：标记单元，该标记单元在膜的预定参考位置上形成标记，使用膜传送设备作为参考定位预定参考位置；识别单元，该识别单元位于该标记单元的后部，且识别在膜上的标记的位置；运算单元，该运算单元基于标记的参考位置和被识别的位置之间的差值计算弯曲的量；控制单元，该控制单元产生校正信号，该校正信号根据所计算的弯曲的量校正标记单元和图案形成设备的位置；和校正单元，该校正单元接收校正信号和基于所接收的校正信号校正该标记单元和该图案形成设备的位置。

本发明还提供了一种使用控制装置控制图案弯曲的方法。

有益效果

根据本发明，可以容易地检测图案的弯曲和测量弯曲距离L和弯曲角度θ。基于该距离和该角度，本发明可以提供可以校正图案形成设备的位置的校正信号，使得图案形成设备可以形成稳定的图案。

因为在膜上形成图案之前可以检测和校正弯曲，所以本发明能够控制膜的质量。

根据本发明，因为根据计算的弯曲量得到图案形成设备和标记单元的位置，所以可以制作精确的图案膜。

根据本发明，当应用精密激光发生器和高分辨率视觉系统时，可以微米级测量和控制膜的弯曲。

当制作用于例如三维显示器的显示器的图案膜时，本发明的控制装置可被单独使用或结合边缘位置控制器控制弯曲。

附图说明

在附图中：

图1a和1b示出由膜的弯曲产生误差的实例；

图2a至图2d图示了需要根据膜的弯曲校正标记单元的位置的原因；

图3图示了在本发明中由第一标记构件标注的第一标记和由第二标记构件标注的第二标记；

图4a、图4b和图4c示出当膜的方向从膜的传送方向以一定的角度被旋转时，通过本发明的运算单元计算弯曲距离和弯曲角度的方法；

图5示出根据本发明的膜的传送方向；

图6示出根据本发明实例的弯曲控制装置；

图7图示了弯曲距离和弯曲角度；

图8a和8b示出通过由识别单元识别的第一标记构件和第二标记构件的标记的轨迹，和通过根据识别的坐标将标记数据分为块形成的二维分块矩阵；

图9示出用于从噪点中分出第一标记和第二标记的方法。

图10a和10b图示了用于计算根据本发明的运算单元的弯曲距离和弯曲角度的方法；

图11示出用于基于所计算的弯曲距离和弯曲角度调整图案形成设备和第二标记构件的位置的产生校正信号的结果；

图12示出根据本发明的实验控制弯曲的结果；

图13示出用于根据本发明的控制弯曲的实例；以及

图14a和14b示出用于计算弯曲距离L的方法。

具体实施方式