[发明专利]形成部分沉积层的方法及形成部分沉积层的装置

说明书

技术领域

本发明关于一种形成部分沉积层的方法及一种形成部分沉积层的装置，且特别关于一种不使用洗涤制程(washing process)来移除沉积层不必要的部分的形成部分沉积层的方法及形成部分沉积层的装置。

背景技术

装饰膜为由基材与形成在其上的多个材料层所构成，其中，上述基材可为可挠式基材，这使得装饰膜可应用于模内装饰(in-mold decoration，IMD)制程、模内转印(in-mold rolling，IMR)制程及类似制程中。装饰膜为用以提供设备或设备外壳中某些视觉效果，例如提供金属光泽、呈现某些图案(即，商标、标志等)或是呈现某些色彩。甚至可通过装饰膜来达到某些触控感应效应(touch sensing effect)。

一般而言，为了提供金属光泽或者提供具有金属光泽的图案，装饰膜中形成在基板上的材料层至少包括一金属层，其中，为了达到高光泽度，此金属层的材料较佳为银(Ag)。然而，整体基板表面上形成有Ag层的装饰膜会具有电屏蔽效应(electrically shielding effect)，而使得使用此种装饰膜的电子设备可能具有不良的无线信号传输品质。因此，为了得到所需外观而不对电子设备的传输品质造成负面影响，通常会将形成在基材上的Ag层图案化，使Ag层部分保留在基材上，而不会屏蔽无线信号的传输。

近来，在基材上形成图案化Ag层的方法包括在基材上形成屏蔽图案，在具有屏蔽图案的基材的整体表面上沉积Ag材料，并洗涤(或清洁)屏蔽图案及沉积在其上的Ag层的一部分。然而，此种制程会将装饰膜的制造复杂化，且用以洗涤屏蔽图案及部分Ag层的试剂可能对环境造成污染。此外，假若屏蔽图案及沉积在其上的Ag层部分并未被完全洗去，则可能会造成装饰膜中的污染，且原本形成在基材上的对准标记(alignment mark)可能被屏蔽，这对后续的制程如装饰膜的制造、后续的IMD或后续的IMR制程会造成负面影响。因此，必须改良在基材上形成部分金属层的方法。

发明内容

本发明提供一种形成部分沉积层的方法以及以此方法所制造的产品，其至少具有简单且对于环境低污染的特性。

本发明提供一种不使用洗涤试剂来形成部分沉积层的装置。

根据本发明的一实施例，提供一种形成部分沉积层的方法，此方法包括在蒸发板上提供基材，在蒸发板与基材之间置放屏蔽板，使得屏蔽板屏蔽基材的第一部分，并暴露基材的第二部分。当基材朝预定方向移动时，进行蒸发制程，使得在蒸发板上的蒸发源沉积在基材中经暴露的第二部分上，而不沉积在基材中经屏蔽的第一部分上。

根据本发明的一实施例，在蒸发板上的蒸发源包括金属。

根据本发明的一实施例，在蒸发板上的蒸发源包括Al、Ni、Au、Pt、Cr、Fe、Cu、Sn、Ag、Ti、Pb、Zn或其中的组合。

根据本发明的一实施例，在蒸发板上的蒸发源的一部分沉积在远离基材的屏蔽板的一侧上。

根据本发明的一实施例，在提供基材至蒸发板上之前，还包括在基材上形成图案化油墨层，其中，图案化油墨层至少具有一图案化开口，使得在蒸发板上的蒸发源至少沉积在图案化开口中。

根据本发明的一实施例，在提供基材至蒸发板上之前，基材具有形成在其上的对准标记，且此对准标记位于基材中经屏蔽的第一部分中。

根据本发明的一实施例，基材包括可挠式基材或玻璃基材。

根据本发明的一实施例，屏蔽板的位置为可调整的。

根据本发明的一实施例，以加热器加热在蒸发板上的蒸发源，使得蒸发源蒸发并沉积在基材中经暴露的第二部分上。

根据本发明的一实施例，提供一种形成部分沉积层的装置。形成部分沉积层的装置包括腔室、载体以及屏蔽板。腔室具有配置在其中的蒸发板。载体配置在腔室中，且位于蒸发板上，用以运送基材并使基材朝预定方向移动。屏蔽板配置在蒸发板与载体之间，其中，屏蔽板屏蔽基材的第一部分并暴露基材的第二部分。

根据本发明的一实施例，在蒸发板上的蒸发源包括金属。

根据本发明的一实施例，在蒸发板上的蒸发源包括Al、Ni、Au、Pt、Cr、Fe、Cu、Sn、Ag、Ti、Pb、Zn或其中的组合。

根据本发明的一实施例，载体包括用以朝预定方向转动的滚轮，且基材置放在滚轮上。

根据本发明的一实施例，基材包括可挠式基材或玻璃基材。

根据本发明的一实施例，形成部分沉积层的装置还包括置放在腔室中，用以支撑屏蔽板的支撑架。

根据本发明的一实施例，屏蔽板的数量为一或多个。