[发明专利]LED芯片载体定位吸附装置有效
申请号: | 201210126665.8 | 申请日: | 2012-04-18 |
公开(公告)号: | CN102637623A | 公开(公告)日: | 2012-08-15 |
发明(设计)人: | 吴晓 | 申请(专利权)人: | 吴晓 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/66 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 351100 福建省*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | led 芯片 载体 定位 吸附 装置 | ||
1.一种LED芯片载体定位吸附装置,其特征在于:它包括带有吸附平面的吸附台;所述吸附平面上设有多个吸附孔(1);所述吸附台体内设有抽气通道,所述抽气通道的进口端与各吸附孔(1)均连通,抽气通道的出口端与抽真空装置连接;各吸附孔(1)以阿基米德螺旋线(2)的螺旋中心为起点沿阿基米德螺旋线(2)的延伸方向依次分布排列,位于阿基米德螺旋线(2)的螺旋中心的吸附孔(1)为中心孔,除中心孔外,其余各吸附孔(1)的孔心与阿基米德螺旋线(2)的螺旋中心之间的连线相对于阿基米德螺旋线(2)的起始坐标轴X0的夹角满足以下关系:
其中,n为沿阿基米德螺旋线(2)的延伸方向依次排列于中心孔之后的各个吸附孔(1)的自然数排列序号;B1为沿阿基米德螺旋线(2)的延伸方向排列于中心孔之后的第一个吸附孔(1)的孔心与阿基米德螺旋线(2)的螺旋中心之间的连线相对于阿基米德螺旋线(2)的起始坐标轴X0的夹角,Bn为沿阿基米德螺旋线(2)的延伸方向依次排列于中心孔之后的第n个吸附孔(1)的孔心与阿基米德螺旋线(2)的螺旋中心之间的连线相对于阿基米德螺旋线(2)的起始坐标轴X0的夹角。
2.根据权利要求1所述的LED芯片载体定位吸附装置,其特征在于:所述吸附台由底座(3)和扣置于底座(3)上方且与底座(3)转动配合连接的上盖(4)组成;所述阿基米德螺旋线(2)的螺旋中心与上盖(4)和底座(3)的转动中心重合。
3.根据权利要求2所述的LED芯片载体定位吸附装置,其特征在于:所述上盖(4)通过设于其底部中心的向上凹陷的圆孔(5)与设于底座(3)顶部中心的向上凸起的圆柱(6)转动配合连接;当上盖(4)底部外周与底座(3)顶部外周贴合时,上盖(4)的圆孔(5)上端面与底座(3)的圆柱(6)上端面之间留有间隙腔(7),所述吸附孔(1)自上盖(4)的吸附平面向下连通至间隙腔(7);底座(3)体内设有一端与间隙腔(7)连通而另一端与抽真空装置连通的出气孔道(8);所述抽气通道由间隙腔(7)及出气孔道(8)连接而成。
4.根据权利要求3所述的LED芯片载体定位吸附装置,其特征在于:上盖(4)底部外周与底座(3)顶部外周的贴合面之间设有环绕上盖(4)的圆孔(5)设置的密封装置(9)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造