[发明专利]LED芯片载体定位吸附装置有效
申请号: | 201210126665.8 | 申请日: | 2012-04-18 |
公开(公告)号: | CN102637623A | 公开(公告)日: | 2012-08-15 |
发明(设计)人: | 吴晓 | 申请(专利权)人: | 吴晓 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/66 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 351100 福建省*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | led 芯片 载体 定位 吸附 装置 | ||
技术领域
本发明涉及一种LED芯片载体定位吸附装置,它主要应用于LED芯片检测技术领域,是检测机、分拣机、固晶机等设备的定位部件。
背景技术
LED芯片大小只有约0.2×0.2mm,通常按方阵排列在2英寸的晶园上,一块晶园上承载的LED芯片约有4万粒。在检测和分拣时需要把晶园固定在吸盘上,才能对芯片进行检测。由于现有的吸盘普遍存在各部位负压吸付不均匀的问题,因此经常会造成晶园表面起皱,影响LED芯片的检测和定位。在以往的应用中,由于晶园起皱使LED芯片定位不准确,严重时使晶园破坏,一次直接损失就是1万多元,由此而造成的加工延误工期等损失,损失率甚至达几十万元以上。
此外,由于现有的吸盘不能旋转角度,因此也影响了LED芯片检测的灵活性。
发明内容
本发明的目的在于提供一种用于对LED芯片载体(例如晶园)进行定位的LED芯片载体定位吸附装置,它能将LED芯片载体均匀地吸附定位在吸附台的吸附平面上,避免LED芯片载体在吸附时产生表面起皱的现象,从而提高LED芯片检测定位的准确性。
本发明的目的通过如下技术方案实现:一种LED芯片载体定位吸附装置,其特征在于:它包括带有吸附平面的吸附台;所述吸附平面上设有多个吸附孔;所述吸附台体内设有抽气通道,所述抽气通道的进口端与各吸附孔均连通,抽气通道的出口端与抽真空装置连接;各吸附孔以阿基米德螺旋线的螺旋中心为起点沿阿基米德螺旋线的延伸方向依次分布排列,位于阿基米德螺旋线的螺旋中心的吸附孔为中心孔,除中心孔外,其余各吸附孔的孔心与阿基米德螺旋线的螺旋中心之间的连线相对于阿基米德螺旋线的起始坐标轴X0的夹角满足以下关系:
其中,n为沿阿基米德螺旋线的延伸方向依次排列于中心孔之后的各个吸附孔的自然数排列序号;B1为沿阿基米德螺旋线的延伸方向排列于中心孔之后的第一个吸附孔的孔心与阿基米德螺旋线的螺旋中心之间的连线相对于阿基米德螺旋线的起始坐标轴X0的夹角,Bn为沿阿基米德螺旋线的延伸方向依次排列于中心孔之后的第n个吸附孔的孔心与阿基米德螺旋线的螺旋中心之间的连线相对于阿基米德螺旋线的起始坐标轴X0的夹角。
本发明的工作原理说明如下:将需要检测或分拣的LED芯片载体放置于吸附平面上,使LED芯片载体覆盖住所有的吸附孔,当通过抽真空装置对抽气通道进行抽气时,可使吸附孔内形成真空负压,从而将LED芯片载体牢牢地吸附于吸附平面上。由于各吸附孔以阿基米德螺旋线的螺旋中心为起点沿阿基米德螺旋线的延伸方向依次分布排列,且除中心孔外的其余各吸附孔的孔心与阿基米德螺旋线的螺旋中心之间的连线相对于阿基米德螺旋线的起始坐标轴X0的夹角满足以下关系:当满足以上关系时,可以使各吸附孔等弧长分布,即各个位于相邻排列的两个吸附孔中心之间的弧长间距都是相等的(原理证明如下:设阿基米德螺旋线的方程为r=kB。其中,r是极坐标半径;B是极坐标的夹角;k是阿基米德螺旋线的疏密常数;若两吸附孔间弧长间距均为常数c,则
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造