[发明专利]基板移运装置

权利要求书

1.一种基板移送装置，其特征在于，所述基板移送装置包括：

承台，用于承载待移送基板，所述承台设有沿第一水平方向平行设置且间距可调的多个承置块；

托架，包括固定块以及沿所述第一水平方向平行设置在所述固定块上且间距可调的多个托持块；

驱动源，能够驱动所述托架移动，以使所述托持块至少部分插入所述承置块之间的间隙，进而托持且移送所述待移送基板。

2.根据权利要求1所述的基板移送装置，其特征在于，所述托架还包括沿所述第一水平方向设置在所述固定块上的第一导引装置，所述托持块相对所述第一导引装置滑动设置。

3.根据权利要求2所述的基板移送装置，其特征在于，所述第一导引装置包括两条第一直线导轨，所述托持块滑动套设在所述第一直线导轨上。

4.根据权利要求3所述的基板移送装置，其特征在于，所述第一直线导轨上设置刻度线。

5.根据权利要求2所述的基板移送装置，其特征在于，所述承台还包括沿所述第一水平方向设置的第二导引装置，所述承置块相对所述第二导引装置滑动设置。

6.根据权利要求5所述的基板移送装置，其特征在于，所述第二导引装置是第二直线导轨，所述承置块滑动套设在所述第二直线导轨上。

7.根据权利要求1所述的基板移送装置，其特征在于，所述承置块沿竖直方向的厚度大于所述托持块沿所述竖直方向的厚度。

8.根据权利要求1所述的基板移送装置，其特征在于，所述托持块上设置有用于定位所述基板的定位件。

9.根据权利要求8所述的基板移送装置，其特征在于，所述定位件包括一组第一回路真空吸嘴和一组第二回路真空吸嘴，同一托持块上的所述第一回路真空吸嘴和所述第二回路真空吸嘴位于一条直线上，且同一托持块上的所述第一回路真空吸嘴与所述第二回路真空吸嘴间隔设置。

10.根据权利要求1所述的基板移送装置，其特征在于，所述驱动源是机械手臂。