[发明专利]输送车

说明书

技术领域

本发明涉及一种输送车，例如用于在洁净室中对收纳有多张基板的盒等被输送物进行输送。

背景技术

以往已知有对被输送物的位置偏移进行修正的技术。例如专利文献1所记载的移载装置具备：传感器，测定被输送物的沿着进深方向的距离；和控制器，根据传感器所测定的距离，修正支撑被输送物的支撑部的伸出量；修正被输送物的位置偏移而将被输送物移载到正确的位置。

专利文献1：日本特开2010-208816号公报

被输送物的位置偏移在输送工序中被累积而偏移量变大，因此需要如上述那样进行修正以成为规定的位置。另一方面，在半导体、液晶等的制造工序中，还要求使时间损失较少而高效地输送被输送物。因此，期待着高效地修正被输送物的位置偏移。

发明内容

本发明是为了解决上述课题而进行的，其目的在于提供一种能够高效地修正被输送物的位置偏移的输送车。

本发明的输送车，对被输送物进行输送，其特征在于，具备：主体部，设置为能够沿着规定的方向行驶；旋转部，设置为能够相对于上述主体部以上下方向的轴为中心进行旋转；水平多关节臂，设置于上述旋转部，载放上述被输送物，并且仅在一个方向上伸缩而取出放入上述被输送物；第一位置检测机构，在上述水平多关节臂的基部侧且在比载放上述被输送物的载放面靠上方的位置，分离地设置有2个该第一位置检测机构，检测伸缩方向上的上述被输送物的第一位置；以及第二位置检测机构，在上述水平多关节臂设置有1个该第二位置检测机构，检测与上述伸缩方向在水平面内正交的方向上的上述被输送物的第二位置。

在该输送车中，不使位置检测机构移动而能够在与被输送物接近的位置通过最少数量的位置检测机构来高精度地检测被输送物的位置。

在载放上述被输送物的载放范围的俯视内侧，在从中心离开的位置，朝向中心地设置第二位置检测机构。在该方式中，不在输送物的周围设置多余的空间而能够在与被输送物接近的位置检测位置。

水平多关节臂具备：基端部；和一对承受臂，从基端部向移载方向的前侧延伸并具备载放被输送物的载放面；第一位置检测机构设置于基端部的侧方两端部。在该方式中，能够有效地活用基端部侧方的空间而在与被输送物接近的位置检测位置。

第二位置检测机构设置于上述一对承受臂中的一个承受臂。在该方式中，不新设置指示检测机构的部件而能够在与被输送物接近的位置检测位置。

本发明的输送车，对被输送物进行输送，其特征在于，具备：主体部，设置为能够沿着规定的方向行驶；旋转部，设置为能够相对于主体部以上下方向的轴为中心进行旋转；移载装置，设置于旋转部，载放被输送物，并且沿着规定的伸缩方向伸缩而取出放入被输送物；第一位置检测机构，在移载装置载放有被输送物时，检测伸缩方向上的被输送物的第一位置；第二位置检测机构，在移载装置载放有被输送物时，检测与伸缩方向在水平面内正交的方向上的被输送物的第二位置；以及控制部，在从移载装置取入上述被输送物起至到达该被输送物的移送目的地为止的期间，基于第一位置检测机构及第二位置检测机构检测到的被输送物的第一位置及第二位置，计算被输送物的位置偏移的修正量，来设定考虑了该修正量后的主体部的移动量、旋转部的旋转量及移载装置的伸出量。

在该输送车中，在从移载装置取入被输送物起至到达该被输送物的移送目的地为止的期间，计算被输送物的位置偏移的修正量，来设定主体部的移动量、旋转部的旋转量以及移载装置的伸出量。因此，能够对被输送物的位置偏移进行修正。此外，在从取入被输送物起至到达移送目的地为止的期间，计算修正量来设定各动作量，因此与在获取被输送物时或在将被输送物收纳到移送目的地的架子中时计算修正量的情况相比，能够实现时间的缩短。因此，能够高效地修正被输送物的位置偏移。

移载装置具有仅在一个方向上伸缩的水平多关节臂，在水平多关节臂的基部侧且在比载放被输送物的载放面靠上方的位置，设置第一位置检测机构。在该方式中，不使第一位置检测机构移动而能够正确地进行第一位置的检测。

第一位置检测机构能够固定在水平多关节臂的基部。第一位置检测机构固定于水平多关节臂的基部。在该方式中，能够在与被输送物接近的位置对第一位置进行检测，因此能够更正确检测第一位置。

在水平多关节臂的基部，分离地设置有2个第一位置检测机构，在水平多关节臂设置有1个第二位置检测机构。在该方式中，能够通过最少数量的位置检测机构高精度地检测被输送物的位置。

第二位置检测机构设置于旋转部。在该方式中，能够在与被输送物接近的位置对第二位置进行检测，因此能够更正确地检测第二位置。