[发明专利]送液装置及送液方法无效

专利信息
申请号: 201210140539.8 申请日: 2012-05-08
公开(公告)号: CN102810495A 公开(公告)日: 2012-12-05
发明(设计)人: 广濑治道;牧野勉 申请(专利权)人: 芝浦机械电子株式会社
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/02;B23Q11/10
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 戚宏梅;杨谦
地址: 日本神*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种送液装置,其特征在于,具备:

第一流路,流动有含有气体的液体;和

第二流路,与上述第一流路连通,具有比上述第一流路的开口面积小的开口面积,

若将在上述第一流路中流动的上述液体的第一压力设为P1,

将在上述第一流路中流动的上述液体的第一流速设为V1,

将在上述第二流路中流动的上述液体的第二压力设为P2,

将在上述第二流路中流动的上述液体的第二流速设为V2,

将上述液体的密度设为ρ,

将重力加速度设为g,

将急缩损失系数设为fsc,

将流入上述第一流路的上述液体的流量设为Q,

将上述第一流路的开口面积设为S1,

将上述第二流路的开口面积设为S2,

则上述第一压力P1与上述第二压力P2的差压、流入上述第一流路的上述液体的流量Q、上述第一流路的开口面积S1以及上述第二流路的开口面积S2满足如下关系式:

P1-P2=((1+fsc)×V22/2g-V12/2g)×ρg

Q=V1×S1=V2×S2,

在上述第二流路中流动的上述液体的雷诺数是会在上述第二流路中产生紊流的值。

2.如权利要求1所述的送液装置,其特征在于,

上述雷诺数为4000以上。

3.如权利要求1或2所述的送液装置,其特征在于,

以会产生气蚀的方式决定上述雷诺数。

4.一种送液方法,向第一流路和与上述第一流路连通且具有比上述第一流路的开口面积小的开口面积的第二流路,流入含有气体的液体来进行送液,其特征在于,

若将在上述第一流路中流动的上述液体的第一压力设为P1,

将在上述第一流路中流动的上述液体的第一流速设为V1,

将在上述第二流路中流动的上述液体的第二压力设为P2,

将在上述第二流路中流动的上述液体的第二流速设为V2,

将上述液体的密度设为ρ,

将重力加速度设为g,

将急缩损失系数设为fsc,

将流入上述第一流路的上述液体的流量设为Q,

将上述第一流路的开口面积设为S1,

将上述第二流路的开口面积设为S2,

则将上述第一压力P1与上述第二压力P2的差压、流入上述第一流路的上述液体的流量Q、上述第一流路的开口面积S1以及上述第二流路的开口面积S2设为满足如下关系式的值:

P1-P2=((1+fsc)×V22/2g-V12/2g)×ρg

Q=V1×S1=V2×S2,

将在上述第二流路中流动的上述液体的雷诺数设为会在上述第二流路中产生紊流的值。

5.如权利要求4所述的送液方法,其特征在于,

上述雷诺数为4000以上。

6.如权利要求4或5所述的送液方法,其特征在于,

以会产生气蚀的方式决定上述雷诺数。

7.一种送液装置,其特征在于,具备:

并列的多个第一流路,流动有含有气体的液体;

多个第二流路,与上述多个第一流路分别连通,具有比上述第一流路的开口面积小的开口面积;

第三流路,与上述多个第二流路连通;以及

多个开闭阀,分别独立地对上述多个第一流路进行开闭。

8.如权利要求7所述的送液装置,其特征在于,

上述多个第二流路各自的开口面积不同。

9.如权利要求7所述的送液装置,其特征在于,

具备切换部,该切换部根据从上述第三流路喷出的上述液体的所需喷出流量,使上述多个开闭阀动作,来切换使上述液体流入的上述第二流路的根数。

10.如权利要求9所述的送液装置,其特征在于,

上述切换部根据从上述第三流路喷出的上述液体的所需喷出流量,使上述多个开闭阀动作,从上述多个第二流路中选择使上述液体流入的上述第二流路。

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