[发明专利]多头搭载划线装置及刀片保持器的自动更换系统

说明书

本申请为国际申请日为国际申请号(PCT/JP2008/001331)、国际申请日(2008年5月28日)、中国申请号(200880018979.8)、发明名称为“多头搭载划线装置及刀片保持器的自动更换系统”的国际申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及能够在脆性材料基板上同时形成多个划线的多头搭载划线装置，还涉及将搭载在划线装置中的刀片(tip)保持器自动更换的刀片保持器自动更换系统。

背景技术

以往，在液晶显示面板或液晶投影仪基板等平板显示器(FPD)等中，在制造过程中将母玻璃基板在贴合后分断，以使其成为规定大小的单个面板。在母玻璃基板等脆性材料基板的分断中，有划线工序和破裂工序，在划线工序中使用划线装置。在FPD的制造中，将一片母基板划线，通过破裂加工而取出多个面板基板。但是，如果母基板的尺寸变大并且面板基板的数量变多，则为了提高划线效率而使用搭载有多个划线头的多头搭载划线装置。

图1是表示以往的多头搭载划线装置的一例的概略立体图。在多头搭载划线装置100中，移动台101沿着一对导引轨道102a、102b沿y轴方向移动自如地被保持。滚珠丝杠103与移动台101拧合。滚珠丝杠103在马达104的驱动下旋转，使移动台101沿着导引轨道102a、102b沿y轴方向移动。在移动台101的上面上设有马达105。马达105使工作台106在xy平面内旋转，定位为规定角度。脆性材料基板107被载置在工作台106上，被未图示的真空吸引机构等保持。在划线装置的上部，设有将脆性材料基板107的对准标记摄像的两台CCD照相机108。

在划线装置100上，沿着x轴方向通过支柱111a、111b架设有桥110，以使其横跨移动台101和其上部的工作台106。在桥110上，多个划线头112能够沿着导引部113沿x轴方向移动。各划线头112在其内部搭载有使其自身分别独立地沿着x轴方向移动的驱动源。此外，也可以代替它而将导引部113与各划线头112例如线性驱动，使各划线头112能够分别独立地移动。划线头112在其前端部上经由保持器接头120安装刀片保持器130。

接着，对安装在划线头112上的以往的保持器接头和刀片保持器进行说明。如在图2中表示分解立体图那样，保持器接头120在上部具有轴承121，下方具有构成为L字形的保持器部122。保持器部122在其侧方设有定位用的销123。刀片保持器130如图3、图4所示，是可旋转地保持圆板状的轮式刀片(以下单称作刀片)131的机构。刀片131通过未图示的销旋转自如地保持在下端中央的前端部上，销由止动器132防止脱落。刀片131是一边压接在脆性材料基板上一边滚动而形成划线的部件。该刀片保持器130通过使其侧面接触在定位销123上，被定位在保持器接头120的保持器部122上。并且，刀片保持器130通过固定螺栓133固定在保持器部122上。划线头112可升降地保持着其下部的保持器接头120及刀片保持器130。在划线头112中，在其内部设有能够进行这样的升降的升降部、例如借助使用空气压力控制的气缸或线性马达的电动升降部等。该升降部使刀片131一边以适当的载荷压接在脆性材料基板的表面上一边滚动，形成划线。

多头搭载划线装置100设有多个划线头。各划线头分别安装有刀片保持器。多个刀片既有同时使用的情况也有部分使用的情况。此外，也有预先配合切断对象而安装不同种类的刀片、在使用时选择其一部分而进行划线的情况。