[发明专利]一种高透过率低反射率的减反射膜镀膜方法有效
| 申请号： | 201210147042.9 | 申请日： | 2012-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN102732830A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 江河 | 申请（专利权）人： | 南昌欧菲光科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/22;G02B1/11 |
| 代理公司： | 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 | 代理人： | 施秀瑾 |
| 地址： | 330000 江西*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 透过 反射率 减反射膜 镀膜 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种高透过率低反射率的减反射膜镀膜方法，其特征在于在真空镀膜设备中由以下步骤完成：
（１）、常规抽真空步骤；
（２）、常规加热步骤；
（３）、Ar+O2的离子清洗步骤；
（４）、在膜上镀SiO2；
（５）、在全氧气氛刻蚀，炉内气压可与镀膜阶段相同，时间一般２-５分钟；同时使用脉冲电源为离子源电源的离子活化处理，使得在脉冲电场的作用下，镜片表面的原有低价离子振荡加剧，活跃程度增大，更容易进一步失去电子，与氧形成牢固、稳定的化学键结构；
（６）、在膜上镀ＴiO2；
（７）、在全氧气氛刻蚀，炉内气压可与镀膜阶段相同，时间一般２-５分钟；同时使用脉冲电源为离子源电源的离子活化处理，使得在脉冲电场的作用下，镜片表面的原有低价离子振荡加剧，活跃程度增大，更容易进一步失去电子，与氧形成牢固、稳定的化学键结构；
重复步骤（4）-（7）直到膜系结束。
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