[发明专利]一种微蚀液再生方法和系统

权利要求书

1.一种微蚀液再生方法，其特征在于，包括：

暂存回收的废微蚀液；

将所述暂存的废微蚀液抽入一级中转缸；

在所述一级中转缸中添加成分为硫酸H₂SO₄、无水硫酸铜CuSO₄、光泽剂、水H₂O的添加剂并搅拌均匀；

将所述添加有添加剂的废微蚀液抽入电解槽进行直流电电解，回收所述废微蚀液中的单质铜；

将所述经过直流电电解的废微蚀液抽入二级中转缸；

对所述二级中转缸中的废微蚀液中的硫酸H₂SO₄和双氧水H₂O₂的含量进行调整，得到再生的微蚀液。

2.如权利要求1所述的微蚀液再生方法，其特征在于，将所述添加有添加剂的废微蚀液收入电解槽进行直流电电解，回收所述废微蚀液中的单质铜，包括：

所述电解槽的内部利用钛片做阳极，铜板作为阴极；向该电解槽通入直流电，将所述废微蚀液中的铜离子沉淀在所述电解槽的铜板上；

当所述铜板增厚时，对该铜板进行清理，从所述铜板上回收所述废微蚀液中的单质铜；

检测所述电解槽中的废微蚀液中的铜离子浓度，当所述废微蚀液中的铜离子浓度小于3g/L时，切断所述电解槽的直流电，所述电解槽自动停止对废微蚀液的直流电电解。

3.如权利要求2所述的微蚀液再生方法，其特征在于，将所述经过直流电电解的废微蚀液抽入二级中转缸，包括：

将所述铜离子浓度小于3g/L的废微蚀液抽入所述二级中转缸。

4.如权利要求3所述的微蚀液再生方法，其特征在于，对所述二级中转缸中的废微蚀液中的硫酸H₂SO₄和双氧水H₂O₂的含量进行调整，得到再生的微蚀液，包括：

从所述二级中转缸中取预定量的废微蚀液，利用氢氧化钠滴定观察其颜色变化，记录氢氧化钠的用量；

根据废微蚀液的量和氢氧化钠的用量，计算得到硫酸的含量；

从所述二级中转缸中取预定量的废微蚀液，利用硫酸铈滴定观察其颜色变化，记录硫酸铈的用量；

根据废微蚀液的量和硫酸铈的用量，计算得到双氧水的含量；

当所述废微蚀液中的硫酸和双氧水的含量小于预定标准值时，得到再生的微蚀液。

5.一种微蚀液再生系统，其特征在于，包括：

废微蚀液存放池，用于暂存回收的废微蚀液；

一级中转缸，用于将所述暂存的废微蚀液抽入其中后，在其中的废微蚀液添加成分为硫酸H₂SO₄、无水硫酸铜CuSO₄、光泽剂、水H₂O的添加剂并搅拌均匀；

电解槽，用于将所述添加有添加剂的废微蚀液抽入电解槽进行直流电电解，并在该电解槽中回收所述废微蚀液中的单质铜；

二级中转缸，用于将所述经过直流电电解的废微蚀液抽入其中后，对其中的废微蚀液中的硫酸H₂SO₄和双氧水H₂O₂的含量进行调整，得到再生的微蚀液。

6.如权利要求5所述的微蚀液再生系统，其特征在于，所述一级中转缸包括：

液位感应器，用于感应抽入其中的废微蚀液中液位高低；

液位报警装置，用于在所述液位感应器感应到抽入一级中转缸中的液位过高时，发出报警信号；

搅拌马达，用于将废微蚀液和所述添加剂搅拌均匀，当值沉淀堵塞管路。

7.如权利要求6所述的微蚀液再生系统，其特征在于，所述电解槽包括：

利用钛片做成的阳极，以及利用铜板做成的阴极；

铜离子浓度检测装置，用于检测所述电解槽中的废微蚀液中的铜离子浓度，当所述废微蚀液中的铜离子浓度小于3g/L时，切断所述电解槽的直流电，所述电解槽自动停止对废微蚀液的直流电电解。