[发明专利]化合物、树脂、光致抗蚀剂组合物和用于制备光致抗蚀剂图案的方法

权利要求书

1.一种由式(I)表示的化合物：

其中

T¹表示单键或C6-C14芳族烃基，

L¹表示C1-C17二价饱和烃基，其中亚甲基可以被氧原子或羰基代替，

L²和L³各自独立地表示单键或C1-C6二价饱和烃基，其中亚甲基可以被氧原子或羰基代替，

环W¹和环W²各自独立地表示C3-C36烃环，

R¹和R²各自独立地表示氢原子、羟基或C1-C6烷基，

R³和R⁴各自独立地表示羟基或C1-C6烷基，

R⁵表示羟基或甲基，

m表示0或1，并且

t和u各自独立地表示0至2的整数。

2.根据权利要求1所述的化合物，其中T¹表示单键。

3.根据权利要求1所述的化合物，其中m表示0。

4.根据权利要求1或2所述的化合物，其中L²是羰基。

5.根据权利要求1或2所述的化合物，其中L³是单键或亚甲基。

6.根据权利要求1或2所述的化合物，其中L³是亚甲基。

7.一种树脂，所述树脂包含衍生自根据权利要求1或2所述的化合物的结构单元。

8.根据权利要求7所述的树脂，所述树脂还包含衍生自具有酸不稳定基团但是不由式(I)表示的单体的结构单元。

9.根据权利要求8所述的树脂，其中所述具有酸不稳定基团但是不由式(I)表示的单体由式(a1-1)或式(a1-2)表示：

其中

L^a1和L^a2各自独立地表示-O-或*-O-(CH₂)_k1-CO-O-，其中k1表示1至7的整数，并且*表示与-CO-的结合位点，

R^a4和R^a5各自独立地表示氢原子或甲基，

R^a6和R^a7各自独立地表示C1-C8烷基或C3-C10脂环族烃基，

m1表示0至14的整数，

n1表示0至10的整数，并且

n2表示0至3的整数。

10.根据权利要求7所述的树脂，所述树脂还包含衍生自不具有酸不稳定基团但是具有羟基金刚烷基的单体的结构单元。

11.根据权利要求10所述的树脂，其中所述不具有酸不稳定基团但是具有羟基金刚烷基的单体由式(a2-1)表示：

其中L^a3表示-O-或*-O-(CH₂)_k2-CO-O-，其中k2表示1至7的整数并且*表示与-CO-的结合位点，

R^a14表示氢原子或甲基，

R^a15和R^a16各自独立地表示氢原子、甲基或羟基，并且

o1表示0至10的整数。

12.根据权利要求7所述的树脂，所述树脂还包含衍生自不具有酸不稳定基团但是具有内酯环的单体的结构单元。