[发明专利]一种多线切割晶棒断线后的救棒处理方法

权利要求书

1.一种多线切割晶棒断线后的救棒处理方法，其特征在于首先，将切割机上的晶棒抬离线网，并将一侧开口的超声容器放置于主辊之间以及晶棒的下部，使晶棒置于超声容器内，之后将超声容器的开口侧采用超声振板封挡上，然后，在超声容器内注入清水直至没过晶棒切割位置，保持清水流动，启动超声电源，清洗晶棒表面及线缝中的砂浆悬浮液20～60分钟后，停止注入清水并排完超声容器内的水；其次，在超声容器内倒入无水乙醇直至没过晶棒切割位置，启动超声电源，清洗晶棒表面及线缝中的砂浆悬浮液残留及其他杂质5～15分钟后，将清洗使用过的无水乙醇排掉，用压缩空气吹干晶棒表面及线缝中无水乙醇；最后，将断线处钢线接上，并缓速启动电机带动导轮，将多线切割线接头处运行离开切割晶棒的工作区域，将线网对入晶棒线缝，继续切割。