[发明专利]一种多线切割晶棒断线后的救棒处理方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种多线切割晶棒断线后的救棒处理方法。

背景技术

目前，在晶棒切割成片的生产过程中，当多线切割机出现断线问题时，通常采用卸棒后清水超声的处理方法，即停机后将切割中的晶棒抬离线网，并从工件夹上取下，置于超声池中用纯水洗净晶棒表面及线缝中砂浆，然后用压缩空气吹干晶棒表面及线缝中水分，再重新将晶棒装上工件夹，将线网对入晶棒线缝，之后继续切割；在上述方法中，完全洗净晶棒需要一般需要几个甚至十多个小时，不仅费时、费力、费水，而且重装时需要精确掌握原来的晶棒位置，如果位置偏移，会使硅片弯曲，造成报废，并产生再次断线，导致救棒的成功率不高。

发明内容

本发明的目的是提供能提高救棒成功率和生产效率的一种多线切割晶棒断线后的救棒处理方法。

本发明采取的技术方案是：一种多线切割晶棒断线后的救棒处理方法，其特征在于首先，将切割机上的晶棒抬离线网，并将一侧开口的超声容器放置于主辊之间以及晶棒的下部，使晶棒置于超声容器内，之后将超声容器的开口侧采用超声振板封挡上，然后，在超声容器内注入清水直至没过晶棒切割位置，保持清水流动，启动超声电源，清洗晶棒表面及线缝中的砂浆悬浮液20～60分钟后，停止注入清水并排完超声容器内的水；其次，在超声容器内倒入无水乙醇直至没过晶棒切割位置，启动超声电源，清洗晶棒表面及线缝中的砂浆悬浮液残留及其他杂质5～15分钟后，将清洗使用过的无水乙醇排掉，用压缩空气吹干晶棒表面及线缝中无水乙醇；最后，将断线处钢线接上，并缓速启动电机带动导轮，将多线切割线接头处运行离开切割晶棒的工作区域，将线网对入晶棒线缝，继续切割。

采用本发明，因无需将晶棒从工件夹上取下，切割时的原点位置容易寻找，重装对刀时降低了误差，可提高救棒的成功率；由于通过先清水后无水乙醇的超声清洗，能更有效的除去晶棒表面及线缝中的砂浆悬浮液；同时，不需要把断线的线网剪掉重新铺线，既节约了成本，又缩短了操作时间，提高了生产效率。 

具体实施方式

下面结合具体的实施例对本发明作进一步说明。

1、将多线切割机上的晶棒抬离线网；

2、将一只一定大小的一侧开口的超声容器放置于主辊之间以及晶棒的下部，将晶棒完全置于超声容器内，然后将超声容器的开口侧采用超声振板封挡上；

3、在超声容器中注入清水直至没过晶棒切割位置，保持清水流动，启动超声电源，清洗晶棒表面及线缝中的砂浆悬浮液20～60分钟后，停止注入清水并排完超声容器内的水；

4、在超声容器内倒入无水乙醇直至完全没过晶棒切割位置，启动超声电源，清洗晶棒表面及线缝中的砂浆悬浮液残留及其他杂质5～15分钟，将清洗使用过的无水乙醇排掉；

5、采用压缩空气吹干晶棒表面及线缝中无水乙醇；

6、将断线处钢线接上，并缓速启动电机带动导轮，将多线切割线接头处运行离开切割晶棒的工作区域，上升工作台，将线网对入晶棒线缝，继续切割。