[发明专利]一种气体纯化装置

权利要求书

1.一种气体纯化装置，包括第一吸附器和第二吸附器，所述第一吸附器、所述第二吸附器中填充有用于吸附待纯化气体中杂质的吸附剂，所述第一吸附器的两端分别开设有与所述第一吸附器的内腔相连通的第一进气口、第一出气口，所述第二吸附器的两端分别开设有与所述第二吸附器的内腔相连通的第二进气口、第二出气口，其特征在于：所述气体纯化装置还包括：

第一高选阀，所述第一高选阀包括两个第一选择进出口、至少一个第一直通进出口，两个所述第一直通进出口分别与所述第一进气口、所述第二进气口相连接设置，所述第一直通进出口与用于向所述气体纯化装置中输入所述待纯化气体的进气管相连通；

第二高选阀，所述第二高选阀包括两个第二选择进出口和至少一个第二直通进出口，两个所述第二直通进出口分别与所述第一出气口、所述第二出气口相连接设置，所述第二直通进出口与出气管相连通；

低选阀，所述低选阀包括两个第三选择进出口和至少一个第三直通进出口，两个所述第三选择进出口分别与所述两个第二选择进出口相连通，所述第三直通进出口与所述出气管相连通；

第一程控阀，所述第一程控阀的两端口分别与所述第一进气口、废气出气管相连接设置；

第二程控阀，所述第二程控阀的两端口分别与所述第二进气口、所述废气出气管相连接设置。

2.根据权利要求1所述的一种气体纯化装置，其特征在于：所述第三直通进出口与所述出气管之间还连接设置有流量计。