[发明专利]蒸气输送装置及其制造和使用方法

权利要求书

1.一种输送系统，其包括：

输送装置，所述输送装置具有入口和出口;所述输送装置包含固体前体;

第一比例阀;所述第一比例阀与所述输送装置的入口连通;所述第一比例阀根据施加的电压进行操作，用来控制载气的第一物流流向所述输送装置的流量;

第二比例阀;所述第二比例阀与所述输送装置的出口连通;所述第二比例阀根据施加的电压进行操作，用来控制载气的第二物流流向所述输送装置的流量;

混合装置；所述混合装置位于所述输送装置的下游，所述混合装置进行操作来将所述第一物流与第二物流混合;

化学传感器;所述化学传感器设置在所述混合室的下游，所述化学传感器进行操作来分析从所述混合室排出的流体物流的化学含量;所述化学传感器与所述第一比例阀连通;以及

第一压力/流量控制器，所述第一压力/流量控制器与所述化学传感器和第一比例阀操作连通;所述输送系统进行操作，向与所述输送系统连通的多个反应器输送基本恒定摩尔数前体蒸气/单位体积载气。

2.如权利要求1所述的输送系统，其特征在于，所述混合室与包含所述第一物流的第一管道以及包含第二物流的第二管道流体连通。

3.如权利要求2所述的输送系统，其特征在于，所述第一物流和第二物流在彼此接触之前沿着相反的方向流动。

4.如权利要求2所述的输送系统，其特征在于，所述第一物流和第二物流不是沿着相反的方向流动的。

5.如权利要求1所述的输送系统，其特征在于，所述第一物流和第二物流在一个通道内混合，所述通道在第一管道的凸缘和混合室的侧面之间形成。

6.如权利要求1所述的输送系统，其特征在于，所述系统还包括压力传感器和第二压力/流量控制器；所述压力传感器与所述输送装置流体连通;所述第二压力/流量控制器与所述第二比例阀电连通。

7.如权利要求1所述的输送系统，其特征在于，所述第一压力/流量控制器、第一比例阀、输送装置、混合室和化学传感器处于第一闭合回路中。

8.如权利要求6所述的输送系统，其特征在于，所述第二压力/流量控制器、第二比例阀、混合室和压力传感器处于第二闭合回路中。

9.一种方法，所述方法包括：

通过输送装置将载气的第一物流传输到混合室;所述输送装置包含前体化合物;所述载气的第一物流的温度等于或高于20°C;

将载气的第二物流传输到所述混合室;所述混合室位于所述输送装置下游的位置;以及

在所述混合室中合并所述第一物流和第二物流，形成第三物流;所述第一物流和第二物流在彼此接触之前沿着彼此相反的方向流动。

10.如权利要求9所述的方法,该方法还包括将信号从设置在所述第三物流中的化学传感器传输到第一压力/流量调节器和/或第二压力/流量调节器,所述第一压力/流量调节器进行操作来控制第一物流中的载气的流速,所述第二压力/流量调节器进行操作来控制所述第二物流中的载气的流速。