[发明专利]无掩膜光刻机曝光中实时添加字符串的方法

权利要求书

1.一种无掩膜光刻机曝光中实时添加字符串的方法，其特征在于包括以下步骤：

1）、通过计算机加载待曝光的图形文件，并确定需要添加到图形文件中去的字符或者字符串的位置、大小和组成；

2）、计算机在字符库中寻找到所需要添加的字符或者字符串，并将字符或者字符串按照指定的位置和大小输入到所述图形文件中，然后保存即完成整个添加过程。

2.根据权利要求1所述的无掩膜光刻机曝光中实时添加字符串的方法，其特征在于：所述字符库中存储的字符至少包括大小写字母、数字和可见符号。

3.根据权利要求2所述的无掩膜光刻机曝光中实时添加字符串的方法，其特征在于：所述字符库中的任意一个字符均按照矢量数据保存，也即每一个字符都是由围合成该字符外形的一系列点组成，此一系列点的坐标用于确定该字符的位置和大小。

4.根据权利要求3所述的无掩膜光刻机曝光中实时添加字符串的方法，其特征在于：所述字符库包括用于字符查找和提取的字符库文件头结构和用于存储字符矢量数据的字符库文件数据区。

5.根据权利要求4所述的无掩膜光刻机曝光中实时添加字符串的方法，其特征在于：所述字符库文件头结构包括字符名称、字符宽、字符高、字符数据起始地址和字符数据结束地址；所述字符库文件数据区包括围合成字符外形的一系列点的数量和每个点的坐标数据；

步骤2）中，计算机通过字符库文件头结构进行查找，找到所需要添加的字符以及字符在字符库文件数据区中的保存位置，再将找到的字符的全部点坐标数据添加到已加载的图形文件的矢量数据中，添加字符的全部点坐标数据时根据需要进行字符位置的平移和尺寸的缩放。

6.根据权利要求5所述的无掩膜光刻机曝光中实时添加字符串的方法，其特征在于：所述字符的每个点的坐标数据均为二维数据。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的无掩膜光刻机曝光中实时添加字符串的方法，其特征在于：所述计算机加载的待曝光的图形文件为GDSII、OASIS或GERBER格式的文件。