[发明专利]无掩膜光刻机曝光中实时添加字符串的方法

说明书

技术领域

本发明涉及无掩膜直写光刻机的数据处理领域，具体为一种无掩膜光刻机曝光中实时添加字符串的方法。

背景技术

实时光刻数据处理，是以GDSII等格式的图形文件为输入数据，通过高速的数据处理，输出可以直接用于光刻机曝光的数据的过程。在实际的数据处理过程中，经常会有在曝光图形上添加标识、序列号以及日期的需求，而目前尚没有满足上述需求的方法和工艺，因此亟待解决。

发明内容

本发明的目的是提供一种无掩膜光刻机曝光中实时添加字符串的方法，本方法能够满足在曝光图形中添加标识、序列号和日期的需求。

为实现上述目的，本发明采用了以下技术方案：一种无掩膜光刻机曝光中实时添加字符串的方法，其包括以下步骤：

1）、通过计算机加载待曝光的图形文件，并确定需要添加到图形文件中去的字符或者字符串的位置、大小和组成；

2）、计算机在字符库中寻找到所需要添加的字符或者字符串，并将字符或者字符串按照指定的位置和大小输入到所述图形文件中，然后保存即完成整个添加过程。

本无掩膜光刻机曝光中实时添加字符串的方法还可以通过以下方式得以进一步实现：

所述字符库中存储的字符至少包括大小写字母、数字和可见符号。所述可见符号也即经打印后可以显示出来并让人观察到的符号。

所述字符库中的任意一个字符均按照矢量数据保存，也即每一个字符都是由围合成该字符外形的一系列点组成，此一系列点的坐标用于确定该字符的位置和大小。

所述字符库包括用于字符查找和提取的字符库文件头结构和用于存储字符矢量数据的字符库文件数据区。

所述字符库文件头结构包括字符名称、字符宽、字符高、字符数据起始地址和字符数据结束地址；所述字符库文件数据区包括围合成字符外形的一系列点的数量和每个点的坐标数据；步骤2）中，计算机通过字符库文件头结构进行查找，找到所需要添加的字符以及字符在字符库文件数据区中的保存位置，再将找到的字符的全部点坐标数据添加到已加载的图形文件的矢量数据中，添加字符的全部点坐标数据时根据需要进行字符位置的平移和尺寸的缩放。

所述字符的每个点的坐标数据均为二维数据。

所述计算机加载的待曝光的图形文件为GDSII、OASIS或GERBER格式的文件。

本发明具有以下有益效果：本发明解决了在扫描式无掩膜光刻机曝光过程中如何实时添加字符串的问题，满足了在光敏感媒介上产生标志、序列号以及日期的需求。

附图说明

图1是向图形文件中添加字符串并曝光的流程图。

图2是字符矢量数据的结构示意图。

图3是字符库文件头结构和字符库文件数据区的格式示意图。

图中标记的含义如下：

1—矢量点2—矢量点围合而成的区域

3—字符库文件头结构4—字符库文件数据区

具体实施方式

如图1所示，一种无掩膜光刻机曝光中实时添加字符串的方法，其包括以下步骤：

101、通过计算机加载待曝光的GDSII、OASIS或GERBER格式的图形文件；

102、确定需要添加到图形文件中去的字符串的位置、大小和组成；

103、计算机通过字符库文件头结构查找字符串中每个字符的存储位置；

104、计算机通过字符库文件数据区提取每个字符的所有点坐标数据；

105、计算机将字符的全部点坐标数据添加到已加载的图形文件的矢量数据中，添加时根据需要进行字符位置的平移和尺寸的缩放，也即将字符或者字符串按照指定的位置和大小输入到所述图形文件中；

106、计算机处理并保存已加载字符串的图形文件的矢量数据，计算机并将图形文件的矢量数据实时输出到曝光机中，以获得添加有字符串的图形。

当需要对同一图形文件再次曝光或者对新的图形文件进行曝光时，计算机可以自动将上次添加的字符串按照上次添加的位置和大小添加到此同一图形文件或者新的图形文件中，此时工作人员需要确认字符串的位置、大小、内容是否发生变化，当然也可以由工作人员设定字符串中内容的变化规则（比如序号递加，以便按规则自动生成新的字符串），如果发生变化则将新的字符串加入，并删除上一次的字符串，如果没有发生变化则无需重新加入。

字符均保存在字符库中，所述字符库中存储的字符至少包括大小写字母、数字和可见符号。所述字符库中的任意一个字符均按照矢量数据保存，也即每一个字符都是由围合成该字符外形的一系列点组成，此一系列点的坐标用于确定该字符的位置和大小。