[发明专利]硼掺杂石墨烯的制备方法无效
申请号: | 201210176572.6 | 申请日: | 2012-05-31 |
公开(公告)号: | CN103449415A | 公开(公告)日: | 2013-12-18 |
发明(设计)人: | 周明杰;钟辉;王要兵 | 申请(专利权)人: | 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司 |
主分类号: | C01B31/04 | 分类号: | C01B31/04 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 何平;生启 |
地址: | 518100 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 掺杂 石墨 制备 方法 | ||
1.一种硼掺杂石墨烯的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
将衬底放置于化学气相沉积设备的反应室,加热所述衬底使所述衬底的温度为500℃~1300℃;及
在保护性气体氛围下,交替向所述反应室内通入气态碳源及气态硼源,每次持续1min~60min,在所述衬底表面生成硼掺杂石墨烯。
2.根据权利要求1所述的硼掺杂石墨烯的制备方法,其特征在于,所述保护性气体选自氮气及氩气中的至少一种。
3.根据权利要求1所述的硼掺杂石墨烯的制备方法,其特征在于,所述气态碳源选自甲烷、乙烷、乙烯及乙炔中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的硼掺杂石墨烯的制备方法,其特征在于,所述气态硼源选自三氯化硼及乙烷硼的至少一种。
5.根据权利要求1所述的硼掺杂石墨烯的制备方法,其特征在于,所述气态碳源及所述气态硼源的流量均为50mL/min~300mL/min;所述气态碳源及所述气态硼源的的流量比例为1:0.5~1:3。
6.根据权利要求1所述的硼掺杂石墨烯的制备方法,其特征在于,所述保护性气体的流量为50mL/min~200mL/min。
7.根据权利要求1所述的硼掺杂石墨烯的制备方法,其特征在于,向反应室内通入气态碳源5次~20次,且向反应室内通入气态硼源5次~20次。
8.根据权利要求1所述的硼掺杂石墨烯的制备方法,其特征在于,所述衬底选自铜箔、铁箔及镍箔中的至少一种。
9.根据权利要求1所述的硼掺杂石墨烯的制备方法,其特征在于,将衬底放置于所述反应室后,向所述反应室内通入保护性气体,采用机械泵,罗茨泵及分子泵逐级将反应室抽至10-3Pa以下,并保持1~30min,之后停止通入保护性气体,关闭分子泵,开始对所述衬底进行加热。
10.根据权利要求1所述的硼掺杂石墨烯的制备方法,其特征在于,所述硼掺杂石墨烯的制备方法还包括步骤:将所述硼掺杂石墨烯自所述衬底剥离。
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