[发明专利]图像获取装置，图案检查装置及图像获取方法

权利要求书

1.一种图像获取装置，用于获取形成在基材上的薄膜图案的图像，其特征在于，

具有：

光照射部，其出射对于所述薄膜图案具有透光性的波长的光，

线性传感器，其接收来自被照射所述光的线状的拍摄区域的光，

移动机构，其使所述基材相对于所述拍摄区域在与所述拍摄区域交叉的方向上移动，

角度变更机构，其以保持照射角和检测角相等的方式，变更所述照射角及所述检测角，所述照射角是从所述光照射部至所述拍摄区域的光轴和所述基材的法线所成的角，所述检测角是从所述拍摄区域至所述线性传感器的光轴和所述法线所成的角。

2.根据权利要求1所述的图像获取装置，其特征在于，

还具有：

关系曲线获取部，其获取关系曲线，该关系曲线表示所述照射角及所述检测角和对比度之间的关系，该对比度是所述薄膜图案和背景之间的对比度；

角度决定部，其根据所述关系曲线来求出所述照射角及所述检测角的设定角度。

3.根据权利要求2所述的图像获取装置，其特征在于，

所述关系曲线获取部，基于所述基材上的层结构及各层的膜厚来求出所述关系曲线。

4.根据权利要求3所述的图像获取装置，其特征在于，

还具有膜厚仪，该膜厚仪用于求出所述各层的膜厚；

所述关系曲线获取部，基于来自所述膜厚仪的输出信息来求出所述关系曲线。

5.根据权利要求1所述的图像获取装置，其特征在于，

还具有起偏镜，该起偏镜配置在所述拍摄区域和所述线性传感器之间。

6.根据权利要求2所述的图像获取装置，其特征在于，

还具有：

起偏镜，其配置在所述拍摄区域和所述线性传感器之间，

偏振光切换机构，其变更所述起偏镜的偏振方向；

所述关系曲线获取部获取第一关系曲线和第二关系曲线来作为所述关系曲线，所述第一关系曲线表示所述薄膜图案和所述背景之间的p偏振光的第一对比度，所述第二关系曲线表示所述薄膜图案和所述背景之间的s偏振光的第二对比度；

所述角度决定部，使用所述第一对比度和所述第二对比度的乘积来求出所述设定角度；

所述线性传感器，获取p偏振光的第一图像和s偏振光的第二图像来作为所述图像。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的图像获取装置，其特征在于，

所述薄膜图案的膜厚在10nm以上且在2000nm以下。

8.根据权利要求1所述的图像获取装置，其特征在于，

还具有显示部，该显示部基于来自所述线性传感器的输出信息来显示所述薄膜图案的图像。

9.根据权利要求8所述的图像获取装置，其特征在于，

还具有：

关系曲线获取部，其获取关系曲线，该关系曲线表示所述照射角及所述检测角和对比度之间的关系，该对比度是所述薄膜图案与背景之间的对比度，

角度决定部，其根据所述关系曲线来求出所述照射角及所述检测角的设定角度。

10.根据权利要求8或9所述的图像获取装置，其特征在于，

还具有：

输入接受部，其接受针对所述基材上的显示对象位置的输入操作，

控制部，其利用所述移动机构使所述基材相对于所述拍摄区域移动，以使所述显示对象位置通过所述拍摄区域。

11.根据权利要求8或9所述的图像获取装置，其特征在于，

还具有：

辅助拍摄部，其以二维排列有多个受光元件，用于获取所述基材的辅助图像，

控制部，其对所述移动机构进行控制；

所述辅助图像显示在所述显示部上；

所述控制部利用所述移动机构使所述基材相对于所述拍摄区域移动，以使所述辅助图像所示出的所述基材上的位置通过所述拍摄区域。