[发明专利]图像获取装置，图案检查装置及图像获取方法

说明书

技术领域

本发明涉及用于获取形成在基材上的薄膜图案的图像的技术。

背景技术

以往，在各种领域，对形成在薄膜状或板状的基材上的图案进行检查。例如，在日本特开2006－112845号公报所公开的图案检查装置中，对形成在树脂薄膜上的配线图案进行检查。在图案检查装置中，使用仅放射波长在500nm以上的光的LED（Light Emitting Diode：发光二极管）作为光源，由此可得到对比度好的图像。

此外，在日本特开2004－101505号公报所公开的膜厚测量装置中，使用半导体激光器将光照射至透明聚酯薄膜上，并用使用硅光电二极管来检测正反射光强度。利用步进电机使半导体激光器和硅光电二极管在从0°到90°的范围内移动，由此变更光入射角。

可是，近年来在各种电子设备上设置FPD（Flat Panel Display：平板显示器）。在制造这样的显示装置时，在对透明电极等透明的图案进行外观检查的情况下，例如通过将光照射至玻璃基板上并接收反射光来获取图案图像。对获取的图像进行处理之后，对进行处理而得到的图像和参照图像进行比较，由此判断图案有无缺陷。

在检查装置中，使用灯、LED（发光二极管）、LD（Laser Diode：激光二极管）等来作为光源，因检查对象上的光干涉而导致在图案和背景之间产生亮度之差，即，产生对比度。在利用光干涉来获取图案图像时，因图案和在位于图案上的薄膜的厚度以及对它们的光学常数等的影响而导致能够获取对比度良好的图像的波长发生变化。因此，设置灯和用于切换多个干扰滤波器（interference filter）的机构，或者设置可出射多个波长的多个LED，来作为光源。在采用这样的方法时，光源被大型化，导致检查装置的制造成本增加。

另外，在利用多个波长的光时，需利用光学系统对多个波长实现消色差及像差修正，因此学系统的设计及制作的难度加大，从而需要增加光量，或光学系统的制造成本增加。除此之外，例如在检查对象包含感光性保护层的情况下，不能照射短波长区域（wavelength region）的光，从而存在不能使用理想波长的光来检查图案的情况。另外，在观察（显示）透明图案的外观的情况下，也存在与上述同样的问题。

发明内容

发明内容

本发明面向用于获取形成在基材上的薄膜图案的图像的图像获取装置，其目的是以低成本实现对比度高的图像。

本发明的图像获取装置具有：光照射部，其出射对于所述薄膜图案具有透光性的波长的光；线性传感器，其接收来自被照射所述光的线状的拍摄区域的光；移动机构，其使所述基材相对于所述拍摄区域而在与所述拍摄区域交叉的方向上移动；角度变更机构，其以保持照射角和检测角相等的方式，变更所述照射角及所述检测角，所述照射角是从所述光照射部至所述拍摄区域的光轴和所述基材的法线所成的角，所述检测角是从所述拍摄区域至所述线性传感器的光轴和所述法线所成的角。若采用本发明，则能够以低成本实现对比度高的图像的获取。

在本发明的一个优选的方式中，图像获取装置获取用于检查薄膜图案的检查图像。

在本发明的另一优选的方式中，图像获取装置还具有显示部，该显示部基于来自线性传感器的输出信息来显示薄膜图案的图像。由此，能够以低成本实现对比度高的图案图像显示。

在本发明的又一优选的方式中，图像获取装置还具有控制部；线性传感器设在受光部上；受光部还具有光学系统，该光学系统将来自拍摄区域的光引导至线性传感器。角度变更机构具有：检测角变更机构，其变更作为光学系统的光轴和基材的法线所成的角的检测角；受光部移动机构，其沿着光轴移动受光部；光照射部、受光部及角度变更机构设在用于拍摄拍摄区域的拍摄单元上；控制部，基于检测角的变化量来控制受光部移动机构，由此，将光轴上的与线性传感器的受光面共轭的位置配置在薄膜图案上。由此，能够容易地一边变更检测角一边对受光部进行焦点调整。

本发明面向用于检查形成在基材上的薄膜图案的图案检查装置，进而，还面向用于获取形成在基材上的薄膜图案的图像的图像获取方法。

上述的目的及其他的目的、特征、方式及优点，通过下面参照附图进行的对本发明的详细说明得以明确。

附图说明

图1是示出了第一实施方式的图案检查装置的概略结构的图。

图2是图像获取部的正视图。

图3是图像获取部的俯视图。

图4是图像获取部的后视图。

图5是示出了图案检查装置的功能结构的框图。