[发明专利]一种用于光刻设备的新型视觉系统

权利要求书

1.一种用于光刻设备的新型视觉系统，其特征在于包括有R、G、B三色LED光源和光传感器，此外还设有将R、G、B三色LED光源折射到光传感器上的分光镜。

2.根据权利要求1所述的一种用于光刻设备的新型视觉系统，其特征在于所述的分光镜为一个或多个分光棱镜或分光反射镜，所述R、G、B三色LED光源为单组或多组R、G、B三色LED光源，所述R、G、B三色LED光源发出的三色光经物体反射后再经过分光镜折射后来到光传感器上并形成可视图像。

3.根据权利要求2所述的一种用于光刻设备的新型视觉系统，其特征在于所述的分光镜有两个，其分别为第一分光棱镜或第一分光反射镜（1）和第二分光棱镜或第二分光反射镜（2）；所述的R、G、B三色LED光源有两组，其分别为将第一分光棱镜或第一分光反射镜（1）围住的第一R、G、B三色LED光源（3）和将发射出的光垂直射向第二分光棱镜或第二分光反射（2）的第二R、G、B三色LED光源（4）；所述第二分光棱镜或第二分光反射（2）折射出来的光由光传感器（5）接收并形成可视图像。

4.根据权利要求3所述的一种用于光刻设备的新型视觉系统，其特征在于所述第一分光棱镜或第一分光反射镜（1）与第一R、G、B三色LED光源（3）同轴；第二分光棱镜或第二分光反射镜（2）与第一分光棱镜或第一分光反射镜（1）同轴。

5.根据权利要求1或2或3或4所述的一种用于光刻设备的新型视觉系统，其特征在于所述光传感器（5）为CCD光传感器。

6.根据权利要求3或4所述的一种用于光刻设备的新型视觉系统，其特征在于所述第一R、G、B三色LED光源（3）由多个R、G、B三色LED光源组成，多个R、G、B三色LED光源围成封闭图形状。

7.根据权利要求6所述的一种用于光刻设备的新型视觉系统，其特征在于所述多个R、G、B三色LED光源围成环形的封闭图形状。

8.根据权利要求3或4所述的一种用于光刻设备的新型视觉系统，其特征在于所述第一分光棱镜或第一分光反射镜（1）的光引擎（6）发身的激光通过率为97-98%，反射的激光为2-3%。

9.根据权利要求3或4所述的一种用于光刻设备的新型视觉系统，其特征在于所述第一分光棱镜或第一分光反射镜（1）的由第一R、G、B三色LED光源（3）发射的光的通过率为50%。

10.根据权利要求3或4所述的一种用于光刻设备的新型视觉系统，其特征在于所述第二R、G、B三色LED光源（4）为单个R、G、B三色LED光源组成。