[发明专利]一种用于光刻设备的新型视觉系统

说明书

【技术领域】

本发明涉及一种用于光刻设备的新型视觉系统。

【背景技术】

用于大规模集成电路和FPD/TFT/OLED/TP大屏显示行业的激光光刻设备。由激光光源、空间光调制器即SLM、光学系统、视觉系统、移动平台、控制电路、数据转换软件及服务器数据处理和传输系统组成。

其中，视觉系统在基板的对准、观察调试及检查测试等工作中发挥着重大作用。

但是现有的视觉系统使用效果不好，对照明光的角度、光谱和色温，对观察物体的光谱特性、形状和背景的选取均达不到要求。

【发明内容】

本发明目的是克服了现有技术中的不足而提供一种对照明光的角度、光谱和色温，对观察物体的光谱特性、形状和背景的选取了达到了最佳的对比和检测效果，能更好的观察和识别物体，提高的基板的对准精度的新型视觉系统。

为了解决上述存在的技术问题，本发明采用下列技术方案：

一种用于光刻设备的新型视觉系统，其特征在于包括有R、G、B三色LED光源和光传感器，此外还设有将R、G、B三色LED光源折射到光传感器上的分光镜。

如上所述的一种用于光刻设备的新型视觉系统，其特征在于所述的分光镜为一个或多个分光棱镜或分光反射镜，所述R、G、B三色LED光源为单组或多组R、G、B三色LED光源，所述R、G、B三色LED光源发出的三色光经物体反射后再经过分光镜折射后来到光传感器上并形成可视图像。

如上所述的一种用于光刻设备的新型视觉系统，其特征在于所述的分光镜有两个，其分别为第一分光棱镜或第一分光反射镜1和第二分光棱镜或第二分光反射镜2；所述的R、G、B三色LED光源有两组，其分别为将第一分光棱镜或第一分光反射镜1围住的第一R、G、B三色LED光源3和将发射出的光垂直射向第二分光棱镜或第二分光反射2的第二R、G、B三色LED光源4；所述第二分光棱镜或第二分光反射2折射出来的光由光传感器5接收并形成可视图像。

如上所述的一种用于光刻设备的新型视觉系统，其特征在于所述第一分光棱镜或第一分光反射镜1与第一R、G、B三色LED光源3同轴；第二分光棱镜或第二分光反射镜2与第一分光棱镜或第一分光反射镜1同轴。

如上所述的一种用于光刻设备的新型视觉系统，其特征在于所述光传感器5为CCD光传感器。

如上所述的一种用于光刻设备的新型视觉系统，其特征在于所述第一R、G、B三色LED光源3由多个R、G、B三色LED光源组成，多个R、G、B三色LED光源围成封闭图形状。

如上所述的一种用于光刻设备的新型视觉系统，其特征在于所述多个R、G、B三色LED光源围成环形的封闭图形状。

如上所述的一种用于光刻设备的新型视觉系统，其特征在于所述第一分光棱镜或第一分光反射镜1的光引擎6发身的激光通过率为97-98%，反射的激光为2-3%。

如上所述的一种用于光刻设备的新型视觉系统，其特征在于所述第一分光棱镜或第一分光反射镜1的由第一R、G、B三色LED光源3发射的光的通过率为50%。

如上所述的一种用于光刻设备的新型视觉系统，其特征在于所述第二R、G、B三色LED光源4为单个R、G、B三色LED光源组成。

本发明与现有技术相比有如下优点：

本发明能够通过采用R、G、B三色LED光源，能够改变照明光的角度、光谱和色温，对观察物体的光谱特性、形状和背景的选取达到了最佳的对比和检测效果，能更好的观察和识别物体，提高的基板的对准精度。

【附图说明】

图1是本发明其中一种实施方式的示意图。

图2是本发明另外一种实施方式的示意图。

图3是分光曲线图。

【具体实施方式】

下面结合附图对本发明进行详细描述：

如图所示，一种用于光刻设备的新型视觉系统，包括有R、G、B三色LED光源和光传感器，此外还设有将R、G、B三色LED光源折射到光传感器上的分光镜。

具体来说，所述的分光镜为一个或多个分光棱镜或分光反射镜。所述R、G、B三色LED光源为单组或多组R、G、B三色LED光源。所述R、G、B三色LED光源发出的三色光经物体反射后再经过分光镜折射后来到光传感器上并形成可视图像。当分光镜为一个时，所述R、G、B三色LED光源为单组的三色LED光源。当分光镜为多个时，所述R、G、B三色LED光源的组数与分光镜的个数相同。单组R、G、B三色LED光源可以是单个三色LED光源组成，也可以是由多个三色LED光源组成。