[发明专利]蒸镀隔离元件及具有蒸镀隔离元件的蒸镀装置

权利要求书

1.一个种蒸镀隔离元件，用于一个炉床内承载蒸镀材料；其特征在于：该蒸镀隔离元件包含一个耐热本体、一个形成于该耐热本体顶部的顶面，及一个形成于该耐热本体且抵接于该炉床内侧面的防溢缘，该耐热本体包括一个形成于底部的凹室，该顶面周缘高度不高于该顶面的中心部。

2.根据权利要求1所述的蒸镀隔离元件，其特征在于：该耐热本体是选自石墨、陶瓷、Al₂O₃、BeO、BN、MgO、TiC/C合金、TiB₂-BN、SiC、ThO₂及ZrO₂所构成的群组制成。

3.根据权利要求1所述的蒸镀隔离元件，其特征在于：该蒸镀隔离元件还包括一个立柱部，该立柱部自该耐热本体底部中心向下延伸，该凹室绕该立柱部呈环状空间。

4.根据权利要求3所述的蒸镀隔离元件，其特征在于：该防溢缘形成于该耐热本体的底缘。

5.根据权利要求1所述的蒸镀隔离元件，其特征在于：该蒸镀隔离元件还包括一个立环部，该立环部自该耐热本体底面周缘向下延伸，该凹室呈圆盘状。

6.根据权利要求5所述的蒸镀隔离元件，其特征在于：该防溢缘形成于该承载盘与该立环部外周缘。

7.根据权利要求1所述的蒸镀隔离元件，其特征在于：该耐热本体截面呈弧状拱起，该顶面周缘高度低于该顶面的中心部。

8.根据权利要求7所述的蒸镀隔离元件，其特征在于：该防溢缘形成于该耐热本体底缘。

9.根据权利要求1所述的蒸镀隔离元件，其特征在于：该顶面周缘高度与该顶面的中心部高度相同，该防溢缘形成于该顶面周缘，该凹室呈弧凸状。

10.一个种具有蒸镀隔离元件的蒸镀装置，包含：一个炉床、一个蒸镀源、一个装设于该炉床的冷却装置，及一个蒸镀隔离元件；其特征在于：该蒸镀隔离元件包括一个耐热本体、一个形成于该耐热本体顶部的顶面，及一个形成于该耐热本体且抵接于该炉床内侧面的防溢缘，该耐热本体具有一个形成于底部的凹室，该顶面周缘高度不高于该顶面的中心部。

11.根据权利要求10所述的之蒸镀隔离元件，其特征在于：该耐热本体是选自石墨、陶瓷、Al₂O₃、BeO、BN、MgO、TiC/C合金、TiB₂-BN、SiC、ThO₂及ZrO₂所构成的群组制成。

12.一个种蒸镀隔离元件，用于一个炉床内承载蒸镀材料；其特征在于：该蒸镀隔离元件包含一个耐热本体、一个形成于该耐热本体顶部的顶面，及一个形成于该耐热本体且抵接于该炉床内侧面的防溢缘，该顶面周缘高度高于该顶面的中心部。

13.根据权利要求12所述的蒸镀隔离元件，其特征在于：该耐热本体是选自石墨、陶瓷、Al₂O₃、BeO、BN、MgO、TiC/C合金、TiB₂-BN、SiC、ThO₂及ZrO₂所构成的群组制成。