[发明专利]蒸镀隔离元件及具有蒸镀隔离元件的蒸镀装置

说明书

技术领域

本发明涉及一个种蒸镀设备，特别是涉及一个种蒸镀隔离元件及具有蒸镀隔离元件的蒸镀装置。

背景技术

现有的一个种蒸镀隔离元件是将一个坩锅置于一个铜制炉床中，并将蒸镀材料置于该坩锅内，将电子束打向蒸镀材料使蒸镀材料蒸发进行蒸镀作业，在此同时，由于蒸镀材料呈现溶融状态，因此容易与该坩锅产生共金焊接的现象，进而造成蒸镀功率变高、膜值纯度降低、蒸发速率不稳、坩锅寿命降低等等问题，虽然将蒸镀材料直接放置于该炉床中可以避免共金焊接的问题，但由于该炉床与冷却系统相连将会使得蒸镀材料温度冷却，大幅增加蒸镀时所需要的功率。

因此，一种可以避免共金焊接且可避免蒸镀功率大幅增加的蒸镀隔离元件，为目前相关业者的研发目标之一。

发明内容

本发明的目的在于，克服现有的蒸镀装置存在的缺陷，而提供一种可以避免共金焊接且可避免蒸镀功率大幅增加的蒸镀隔离元件，及具有蒸镀隔离元件的蒸镀装置。

本发明的目的与所要解决的技术问题是通过以下的技术方案实现：

本发明蒸镀隔离元件，用于一个炉床内承载蒸镀材料；该蒸镀隔离元件包含一个耐热本体、一个形成于该耐热本体顶部的顶面，及一个形成于该耐热本体且抵接于该炉床内侧面的防溢缘，该耐热本体包括一个形成于底部的凹室，该顶面周缘高度不高于该顶面的中心部。

本发明蒸镀隔离元件，该耐热本体是选自石墨、陶瓷、Al₂O₃、BeO、BN、MgO、TiC/C合金、TiB₂-BN、SiC、ThO₂及ZrO₂所构成的群组制成。

本发明蒸镀隔离元件，还包括一个立柱部，该立柱部自该耐热本体底部中心向下延伸，该凹室绕该立柱部呈环状空间。

本发明蒸镀隔离元件，该防溢缘形成于该耐热本体的底缘。

本发明蒸镀隔离元件，还包括一个立环部，该立环部自该耐热本体底面周缘向下延伸，该凹室呈圆盘状。

本发明蒸镀隔离元件，该防溢缘形成于该承载盘与该立环部外周缘。

本发明蒸镀隔离元件，该耐热本体截面呈弧状拱起，该顶面周缘高度低于该顶面的中心部。

本发明蒸镀隔离元件，该防溢缘形成于该耐热本体底缘。

本发明蒸镀隔离元件，该顶面周缘高度与该顶面的中心部高度相同，该防溢缘形成于该顶面周缘，该凹室呈弧凸状。

本发明具有蒸镀隔离元件的蒸镀装置，包含：一个炉床、一个蒸镀源、一个装设于该炉床的冷却装置，及一个蒸镀隔离元件，该蒸镀隔离元件包括一个耐热本体、一个形成于该耐热本体顶部的顶面，及一个形成于该耐热本体且抵接于该炉床内侧面的防溢缘，该耐热本体具有一个形成于底部的凹室，该顶面周缘高度不高于该顶面的中心部。

本发明具有蒸镀隔离元件的蒸镀装置，该耐热本体是选自石墨、陶瓷、Al₂O₃、BeO、BN、MgO、TiC/C合金、TiB₂-BN、SiC、ThO₂及ZrO₂所构成的群组制成。

本发明蒸镀隔离元件，用于一个炉床内承载蒸镀材料；该蒸镀隔离元件包含一个耐热本体、一个形成于该耐热本体顶部的顶面，及一个形成于该耐热本体且抵接于该炉床内侧面的防溢缘。

本发明蒸镀隔离元件，该耐热本体是选自石墨、陶瓷、Al₂O₃、BeO、BN、MgO、TiC/C合金、TiB₂-BN、SiC、ThO₂及ZrO₂所构成的群组制成。

本发明的有益效果在于：通过该耐热本体的材质选择，达到避免与蒸镀材料共金焊接的功效，且通过该耐热本体隔绝蒸镀材料与该炉床，达到避免蒸镀材料温度冷却、避免蒸镀功率大幅增加的功效。

附图说明

图1是本发明一个种蒸镀隔离元件的第一较佳实施例的剖视图；

图2是本发明一个种蒸镀隔离元件的第二较佳实施例的剖视图；

图3是本发明一个种蒸镀隔离元件的第三较佳实施例的剖视图；

图4是本发明一个种蒸镀隔离元件的第四较佳实施例的剖视图；

图5是本发明一个种蒸镀隔离元件的第五较佳实施例的剖视图。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本发明进行详细说明。