[发明专利]制造磁极和护罩的方法

说明书

技术领域

背景技术

图1示出用于数据存储的传统磁盘驱动器10。附图不是按比例绘制的，且为了清晰起见其仅绘出某些结构。磁盘介质50附着于主轴电机和轮毂20。主轴电机和轮毂20以箭头55示出的方向使介质50旋转。磁头堆叠组件（HSA）60包括驱动臂70上的磁记录头30，并且通过在期望的数据磁道上方定位音圈马达（VCM）25来定位驱动臂70（本例中显示为记录磁道40）从而向介质50写入数据。

图1a示出图1中磁记录磁头30的放大图。可在滑块80上制造磁记录换能器90。滑块80可附着于悬架75，并且悬架75可附着于驱动臂70，如图2所示。

再次参考图1a，滑块80示为在记录磁道40上方。介质50和磁道40在滑块80下方以箭头42显示的沿磁道方向（in track direction）移动。跨磁道（cross track）方向以箭头41示出。

磁记录换能器90具有前缘91和后缘92。在这个实施例中，记录换能器90的后缘92是在介质以方向42在滑块80下方移动时在记录磁道40上执行写入的磁换能器90的最后部分。

图2示出图1所示磁盘驱动器10的侧视图。至少一个磁盘介质50安装在主轴电机和轮毂20上。HSA 60包括至少一个致动臂70，其承载悬架75和滑块80。滑块80具有面向介质50的空气轴承表面（ABS）。当介质正在旋转且致动臂70定位在介质50上方时，滑块80通过滑块ABS和面向滑块80的ABS的介质50的表面之间产生的气动压力浮在介质50上方。

发明内容

附图说明

图1示出传统磁盘驱动器的俯视图。

图1a示出图1所示区域的更详细视图。

图2示出图1所示磁盘驱动器的侧视图。

图3示出扫描抛光过程。

图4示出扫描抛光前的衬底。

图5示出扫描抛光后的衬底。

图6示出扫描抛光前衬底上方的中间层。

图7示出使用表面参考扫描抛光的中间层。

图8示出使用厚度参考扫描抛光的中间层。

图9示出已接受厚度参考扫描抛光的中间层中的沟槽。

图10-26示出在本发明的一个实施例中利用扫描抛光提供磁极和多个护罩的过程。

具体实施方式

图3图示扫描抛光过程。扫描离子源300可操作用于在衬底310上方移动窄离子束301。扫描离子源300可以在轴305显示的X方向或Y方向上移动以在衬底310上方移动窄离子束301。在一个实施例中，窄离子束301可以以第一方向320移动穿过衬底310，接着以第二方向330向衬底310下方移动；然后改变方向直到整个衬底310已被研磨。衬底310可能具有由于不完善制造导致的表面不规则340；不完善制造例如化学机械抛光（CMP）凹面或凸面错误。扫描抛光设备通过：扫描目标或从另一装置接收与目标有关的地形信息；以及决定将去除多少材料以提供改进的平面化来进行操作。在一个实施例中，扫描操作可以与抛光同时执行。当扫描离子源300在X方向或Y方向上移动时，从衬底310去除的材料量可以通过改变在衬底310上方停留的时间来控制。更长的停留时间或更慢的移动速度将导致更多材料被窄离子束301去除。

图4图示扫描抛光前的衬底400。上述说明中的衬底可以包括多个层和材料。衬底400具有表面不规则/不平整（irregularity）410。为了说明目的，示出的表面不规则410被高度夸大和简化。实际的表面不规则，例如由CMP引起的表面不规则可能是复杂且不一致的，或者可能具有规则图案例如环形或涡状形。在一个实施例中，衬底400可能具有大约15-200纳米（nm）的表面不规则。

图5图示扫描抛光后的衬底500。扫描抛光后，衬底500具有表面不规则510。通过扫描抛光，表面不规则510已经减少为大约0.1-5nm。

在一个实施例中，可以通过扫描顶面520相对理想平面的变化来测量表面不规则510；下文中这种方法称为表面参考扫描。在另一个实施例中，可以通过扫描从衬底500的顶面520到底面530的厚度来测量表面不规则510；下文中将这种方法称为厚度参考扫描。厚度参考扫描可以通过光扫描或通过物理标记的测量来执行，物理标记例如研磨终止标志。在一些应用中，可能期望使用表面参考扫描抛光用于后续的操作；而在其他应用中，可能期望使用厚度参考扫描来提供统一厚度的衬底或提供衬底上统一厚度的另一层。