[发明专利]阵列测试装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于测试玻璃面板的阵列测试装置。

背景技术

一般来说，液晶显示器(LCD)、等离子显示面板(PDP)、场致发射显示器(FED)以及有机发光二极管(OLED)等是已研制出并使用的平板显示器(FPD)的代表性实例。

这种FPD的LCD是以向排列为矩阵形状的液晶单元单独地提供基于图像信息的数据信号、并因此控制液晶单元的透光性的方式来显示预期图像的图像显示设备。由于LCD薄且轻并具有耗能低和操作电压低等其它很多优点，因此得到广泛使用。下面将描述制造用在这种LCD中的液晶面板的典型方法。

首先，在上玻璃面板上形成彩色滤光片和共用电极。其后，在与上玻璃面板相对的下玻璃面板上形成薄膜晶体管(TFT)和像素电极。之后，将配向层分别施加到上玻璃面板和下玻璃面板。其后，摩擦配向层以便为以后要在这些配向层之间形成的液晶层中的液晶分子提供预倾角和配向方位。

其后，通过将密封胶以预定图案施加到至少上玻璃面板或至少下玻璃面板来形成密封胶图案，以保持玻璃面板彼此分隔开，阻止液晶泄漏，以及密封玻璃面板之间的空间。之后，在玻璃面板之间形成液晶层，因此完成液晶面板。

在上述过程中，测试具有TFT和像素电极的下玻璃面板(下文称作“玻璃面板”)是否有缺陷的操作，是通过例如检测栅极线或数据线是否中断或者检查像素单元是否颜色不佳而实施的。阵列测试装置用于实施这种针对玻璃面板的测试。阵列测试装置典型地包括测试玻璃面板的测试单元、将玻璃面板加载到测试单元上的加载单元、以及将已经过测试的玻璃面板从测试单元卸载的卸载单元。

测试单元包括光源、设置有电光材料层的调制器、以及拍摄调制器的图像的摄像单元。测试玻璃面板的方法包括将玻璃面板加载到支撑板上、将预定电压施加到调制器和玻璃面板、并将调制器设置于邻近玻璃面板处。如果玻璃面板无缺陷，则在调制器和玻璃面板之间形成电场。然而，如果玻璃面板有缺陷，则在调制器和玻璃面板之间不形成电场、或电场幅度较小。阵列测试装置测试调制器和玻璃面板之间的电场幅度，并利用测得的电场幅度来确定玻璃面板是否有缺陷。

对于准确测试玻璃面板较为重要的一个因素是玻璃面板与调制器之间的距离。为了准确测试玻璃面板，必需维持玻璃面板与调制器之间的距离恒定以及维持在预定的最佳距离处。因此，在根据新近提出的技术的阵列测试装置中，将气体吹送到玻璃面板上，吹送的气体的压力使调制器悬浮于玻璃面板上方，因此维持玻璃面板与调制器之间的距离恒定。

同时，玻璃面板在其上具有多个待测试区域。调制器连续地移至这些待测试区域，直到完成对玻璃面板上的所有区域的测试为止。为此，首先，调制器远离玻璃面板向上竖直移动，使得玻璃面板与调制器之间的距离达到容许调制器水平移动的距离(下文称作“第一距离”)。其后，调制器相对于玻璃面板的上表面水平地(平行地)移动，直到它被置于对应的待测试区域之一上方为止。之后，调制器朝玻璃面板竖直地(向下)移动并接近玻璃面板，使得玻璃面板与调制器之间的距离达到能够使调制器测试玻璃面板的距离(下文称作“第二距离”)。

第一距离大于第二距离。所排出的用于将玻璃面板与调制器之间的距离调整为第一距离的气体的压力大于用于将玻璃面板与调制器之间的距离调整为第二距离的气体压力。

优选地，第二距离设定为可能的最小距离，使得可准确地测量在玻璃面板与调制器之间所产生的电场幅度。换言之，优选第二距离为尽可能地小，除调制器接触玻璃面板以外。

第一距离设定为可在调制器水平移动时防止调制器接触玻璃面板的距离。同时，当调制器水平移动时，加速力施加到调制器，因此使调制器倾斜。因而，调制器在其水平移动时可能以预定角度倾斜。此外，当水平移动的调制器停止时，减速力施加到调制器，因此使调制器倾斜预定角度。在传统阵列测试装置中，第二距离设定得相对较大，使得即使在调制器倾斜时也能防止调制器接触玻璃面板。因此，在传统阵列测试装置中，第一距离和第二距离之间存在相对较大的差异。

这样，因为第一距离和第二距离之间的差相对较大，因此传统阵列测试装置的问题在于，将玻璃面板与调制器之间的距离从第一距离改变到第二距离或从第二距离改变到第一距离耗时相对较长。

此外，由于当调制器在水平移动时加速或者当水平移动的调制器停止时调制器以预定角度倾斜，因此调制器水平移动的速度不应太快，以防止调制器接触玻璃面板。也就是说，调制器的水平移动速度仅可增加至有限的速度。

发明内容