[发明专利]双层光学滤色结构无效
| 申请号： | 201210184311.9 | 申请日： | 2012-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN102707361A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 李轲;王丽国;黄学骄;贺振鑫 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 双层 光学 结构 | ||
1.一种双层光学滤色结构，其特征在于，包括：
具有周期性圆孔的金属银层，该周期性圆孔构成圆孔阵列；以及
位于该金属银层正上方的由金属银构成的圆环阵列，该圆环阵列正对于该圆孔阵列。
2.根据权利要求1所述的双层光学滤色结构，其特征在于，所述金属银层与该圆环阵列上下两层是平行放置的，且上下两层之间的间隙是20纳米厚度的空气。
3.根据权利要求1所述的双层光学滤色结构，其特征在于，所述金属银层的厚度是30nm。
4.根据权利要求1所述的双层光学滤色结构，其特征在于，所述金属银层具有周期排列的圆孔阵列，圆孔阵列是按照六方晶格排列的，且其晶格常数可调。
5.根据权利要求4所述的双层光学滤色结构，其特征在于，
所述圆孔阵列的每个圆孔高度是30纳米，正好贯穿所述金属银层；
所述圆孔阵列的每个圆孔的半径是300纳米，圆孔内是空气。
6.根据权利要求1所述的双层光学滤色结构，其特征在于，所述圆环阵列的厚度是70纳米。
7.根据权利要求1所述的双层光学滤色结构，其特征在于，所述圆环阵列是按照六方晶格排列的，其晶格常数与所述圆孔阵列的晶格常数相同。
8.根据权利要求1所述的双层光学滤色结构，其特征在于，所述圆环阵列的每个圆环的外半径可调，且与所述圆孔阵列中圆孔的半径相同，每个圆环的内半径都是110纳米，内半径以内都是空气。
9.根据权利要求1所述的双层光学滤色结构，其特征在于，所述圆孔阵列与所述圆环阵列所用的材料均是金属银。
10.根据权利要求1所述的双层光学滤色结构，其特征在于，所述圆环阵列的每个圆环正好位于所述圆孔阵列的每个圆孔的正上方，每个圆环的外圆与其正下方的圆孔在平行于所述金属银层的平面上的投影是重合的。
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