[发明专利]加工装置

权利要求书

1.一种加工装置，所述加工装置具有：卡盘工作台，所述卡盘工作台用于保持被加工物；加工构件，所述加工构件用于对保持于所述卡盘工作台的被加工物施行加工；摄像构件，所述摄像构件用于对保持于所述卡盘工作台的被加工物进行摄像；以及加工进给构件，所述加工进给构件用于对所述卡盘工作台和所述加工构件相对地进行加工进给，所述加工装置的特征在于，

所述摄像构件包括：

光源，所述光源用于照明被加工物；

摄像机，所述摄像机用于对被照明了的被加工物进行摄像；以及

光量调整器，所述光量调整器用于对从所述光源照射的光的光量进行调整，

所述光量调整器具有：

旋转板，所述旋转板具有旋转轴；以及

开口部，所述开口部形成于所述旋转板，并用于供从所述光源照射的光透过，

所述开口部以与所述旋转轴的旋转角度对应地使透过的光量从小到大连续变化的方式形成为渐扩状。

2.如权利要求1所述的加工装置，其特征在于，

所述光量调整器还具有与所述旋转轴连接在一起的脉冲马达。