[发明专利]有机EL器件制造装置

权利要求书

1.一种有机EL器件制造装置，其具有作为真空室的设备组，该设备组具备：具备将蒸镀材料蒸镀在衬底上的处理部的真空处理室；将上述衬底搬入或搬出的交接室；以及将上述衬底在上述交接室和上述处理部之间进行搬运的搬运机构，其特征在于，

具有与上述交接室不同的搬入衬底的搬入负载室和搬出衬底的搬出负载室中至少一方，

再有，在构成将上述衬底从上述搬入负载室向搬出负载室进行搬运的搬运系统的搬运部中，具有在上述搬运部对所搬运的上述衬底的搬运角度进行修正的修正机构。

2.如权利要求1所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，具有多个上述设备组，将上述多个设备组串联连接。

3.如权利要求1所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，具有上述修正机构的上述搬运部在上述交接室、上述搬入负载室和设置于上述处理部的衬底的处理交接部中至少有一处。

4.如权利要求1所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，上述修正机构是使放置设置于上述搬运部的上述衬底的放置台旋转的机构，或者从上述放置台离开并使上述衬底旋转的机构。

5.如权利要求1所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，上述搬运部是设置于上述设备组、上述搬入负载室或搬出负载室的搬运用机械手。

6.如权利要求1所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，上述修正机构是将上述搬运用机械手的搬运上述衬底的手部的角度改变的机构。

7.如权利要求1所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，

上述搬运部是上述搬入负载室，上述修正机构以预定的角度将上述衬底设置在上述搬入负载室。

8.如权利要求1所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，将进行上述蒸镀的蒸发源沿着倾斜地搬入设置于上述处理部的衬底的处理交接部中的上述衬底进行扫描。

9.如权利要求1所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，上述设备组具有两个上述真空处理室，上述真空处理室设有多个进行相同处理的上述处理部。

10.如权利要求1所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，

上述搬运部水平地搬运衬底，

上述处理部将蒸镀材料蒸镀在垂直的衬底上。