[发明专利]涂敷装置

权利要求书

1.一种涂敷装置，

具有：

基板保持部，用于保持基板，

喷嘴，用于向被上述基板保持部保持的基板喷出涂敷液，

主扫描方向移动机构，用于使上述喷嘴沿着平行于基板的表面的主扫描方向往复移动，

副扫描方向移动机构，用于使上述基板保持部沿着副扫描方向相对于上述喷嘴移动，其中，上述副扫描方向垂直于上述主扫描方向，并且平行于基板的表面，

挠性的涂敷液供给管，用于从涂敷液贮存部向上述喷嘴输送涂敷液；

该涂敷装置的特征在于，

还具有压力变动吸收机构，该压力变动吸收机构配设在上述喷嘴与上述涂敷液供给管之间，并且与上述喷嘴形成一体来进行移动，

该压力变动吸收机构具有：

压力吸收部，随着从上述涂敷液供给管输送的涂敷液的压力变动而发生弹性变形，由此使涂敷液容置部的体积变化，

流量抑制部，具有比上述涂敷液供给管的内径更小的节流孔。

2.根据权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，上述压力吸收部由树脂制的软管构成。

3.根据权利要求2所述的涂敷装置，其特征在于，上述树脂制的软管的外经为1mm～3mm，上述树脂制的软管的内径为0.5mm～2.5mm。

4.根据权利要求2所述的涂敷装置，其特征在于，上述流量抑制部是树脂制的硬管，该硬管的内径小于上述涂敷液供给管的内径及上述软管的内径。

5.根据权利要求4所述的涂敷装置，其特征在于，上述硬管的外经为1mm～3mm，上述硬管的内径为0.05mm～0.2mm。

6.一种涂敷装置，

具有：

基板保持部，用于保持基板，

喷嘴，用于向被上述基板保持部保持的基板喷出涂敷液，

主扫描方向移动机构，用于使上述喷嘴沿着平行于基板的表面的主扫描方向往复移动，

副扫描方向移动机构，用于使上述基板保持部沿着副扫描方向相对于上述喷嘴移动，其中，上述副扫描方向垂直于上述主扫描方向，并且平行于基板的表面，

挠性的涂敷液供给管，用于从涂敷液贮存部向上述喷嘴输送涂敷液；

该涂敷装置的特征在于，

还具有压力变动吸收机构，该压力变动吸收机构配设在上述喷嘴与上述涂敷液供给管之间，并且与上述喷嘴形成一体来进行移动，

该压力变动吸收机构具有：

压力吸收部，由壁厚薄的软管构成，随着从上述涂敷液供给管输送的涂敷液的压力变动而发生弹性变形，由此使涂敷液容置部的体积变化，

流量抑制部，内径小于上述涂敷液供给管的内径及上述软管的内径，而且由壁厚比上述软管的壁厚厚的树脂制的硬管构成。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的涂敷装置，其特征在于，

上述喷嘴在上述副扫描方向上以规定的间距配设有多个，上述涂敷液供给管和上述压力变动吸收机构与各喷嘴相对应地配设有多个，并且，

多个上述涂敷液供给管分别通过质量流量控制器与用于从上述涂敷液贮存部压送涂敷液的泵相连接。