[发明专利]涂敷装置

说明书

技术领域

本发明涉及向有机EL显示装置用玻璃基板、液晶显示装置用玻璃基板、PDP（Plasma Display Panel：等离子体显示板）用玻璃基板、太阳能电池用基板、电子纸用基板或者是半导体制造装置用掩模基板等基板涂敷涂敷液的涂敷装置。

背景技术

例如，在制造使用高分子有机EL（Electro Luminescence：场致发光）材料的有源矩阵驱动方式的有机EL显示装置时，依次对玻璃基板进行如下工序：形成TFT（Thin Film Transistor：薄膜晶体管）电路的工序；形成作为阳极的ITO（Indium Tin Oxide：铟锡氧化物）电极的工序；形成间隔壁的工序；涂敷含有空穴输送材料的流动性材料的工序；通过加热处理，形成空穴输送层的工序；涂敷含有有机EL材料的流动性材料的工序；通过加热，形成有机EL层的工序；形成阴极的工序；通过形成绝缘膜来进行封装的工序。

作为在制造这样的有机EL显示装置时，在基板上涂敷含有空穴输送材料的流动性材料、含有有机EL材料的流动性材料等涂敷液的涂敷装置已知如下的装置：通过使连续喷出涂敷液的多个喷嘴，沿着主扫描方向及副扫描方向相对于基板移动，来在基板上的涂敷区域呈条纹状地涂敷涂敷液。

另外，专利文献1提出了如下的结构，作为使具有多个喷嘴的涂敷头在主扫描方向上往复移动的涂敷头移动机构采用滑块，该滑块与沿着主扫描方向延伸的引导部配合，并且向该滑块与引导部之间喷出空气，以非接触状态被引导部支撑。在这专利文献1所述的涂敷装置中，通过空气供给管向滑块供给空气。另外，通过与涂敷液贮存部相连接的挠性的涂敷液供给管，向安装在该滑块上的涂敷头的多个喷嘴供给涂敷液。

专利文献1：JP特开2009-131735号公报。

在这样的涂敷装置中，要求涂敷液的膜厚均匀。为了使涂敷液的膜厚均匀，需要使从喷嘴喷出的涂敷液的流量均匀。

但是，在涂敷头的多个喷嘴与涂敷液贮存部通过挠性的涂敷液供给管来连接的状态下，向快速往复移动的喷嘴供给涂敷液时，由于涂敷液供给管随着喷嘴移动而发生变形、涂敷液供给管内的涂敷液的惯性力等的影响，难以使从喷嘴喷出的涂敷液的流量维持恒定。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而提出的，其目的在于提供一种涂敷装置，该涂敷装置即使在通过挠性的涂敷液供给管从涂敷液贮存部向进行往复移动的喷嘴输送涂敷液的情况下，也能够将涂敷液的流量维持恒定，来均匀地涂敷涂敷液。

技术方案1所述的发明为一种涂敷装置，具有：基板保持部，用于保持基板，喷嘴，用于向被上述基板保持部保持的基板喷出涂敷液，主扫描方向移动机构，用于使上述喷嘴沿着平行于基板的表面的主扫描方向往复移动，副扫描方向移动机构，用于使上述基板保持部沿着副扫描方向相对于上述喷嘴移动，其中，上述副扫描方向垂直于上述主扫描方向，并且上述副扫描方向平行于基板的表面，挠性的涂敷液供给管，用于从涂敷液贮存部向上述喷嘴输送涂敷液，该涂敷装置的特征在于，还具有压力变动吸收机构，该压力变动吸收机构配设在上述喷嘴与上述涂敷液供给管之间，并且与上述喷嘴形成一体来进行移动，该压力变动吸收机构具有：压力吸收部，随着从上述涂敷液供给管输送的涂敷液的压力变动而发生弹性变形，由此使涂敷液容置部的体积变化，流量抑制部，具有比上述涂敷液供给管的内径更小的节流孔。

技术方案2所述的发明的特征在于，在技术方案1所述的发明中，上述压力吸收部由树脂制的软管构成。

技术方案3所述的发明的特征在于，在技术方案2所述的发明中，上述树脂制的软管的外经为1mm～3mm，上述树脂制的软管的内径为0.5mm～2.5mm。

技术方案4所述的发明的特征在于，在技术方案2所述的发明中，上述流量抑制部是树脂制的硬管，该硬管的内径小于上述涂敷液供给管的内径及上述软管的内径。

技术方案5所述的发明的特征在于，在技术方案4所述的发明中，上述硬管的外经为1mm～3mm，上述硬管的内径为0.05mm～0.2mm。