[发明专利]支撑夹具和制造磁性记录介质用玻璃基板的方法

权利要求书

1.一种支撑夹具，用于支撑多个磁性记录介质用圆盘形状的玻璃基板，在所述磁性记录介质用圆盘形状的玻璃基板的中心处具有圆形孔，

其中所述支撑夹具包括支撑轴，所述支撑轴插入所述圆形孔内，以将所述多个磁性记录介质用玻璃基板在径向方向上的位置对齐；并且

所述支撑轴具有150GPa或更大的杨氏模量。

2.根据权利要求1所述的支撑夹具，其中当对所述支撑轴施加98N的载荷时，所述支撑轴具有260μm或更小的最大弯曲值。

3.一种制造磁性记录介质用玻璃基板的方法，所述方法包括：

形成圆盘形状的玻璃基板的成形步骤，所述圆盘形状的玻璃基板具有内周侧表面、外周侧表面和主表面，并且在所述圆盘形状的玻璃基板的中心处具有圆形孔；

在所述玻璃基板的所述外周侧表面和所述主表面的交叉处形成外周倒角部分的外周倒角步骤；

对所述外周侧表面和所述外周倒角部分进行抛光的外周表面抛光步骤；以及

对所述玻璃基板的所述主表面进行抛光的主表面抛光步骤，

其中所述外周表面抛光步骤包括：

将具有杨氏模量为150Gpa以上的支撑轴的支撑夹具的所述支撑轴插入多个所述玻璃基板的所述圆形孔内，将所述玻璃基板的径向方向上的位置对齐，由此在所述支撑夹具上形成玻璃基板叠层体；以及

在将包含游离研磨料的抛光浆料供应到所述玻璃基板叠层体的所述外周侧表面和所述外周倒角部分的同时通过在使抛光刷旋转的状态下使所述抛光刷与所述外周侧表面部分及所述外周倒角部分接触来对所述外周侧表面和所述外周倒角部分进行抛光的步骤。

4.根据权利要求3所述的制造磁性记录介质用玻璃基板的方法，其中当对所述支撑轴施加98N的载荷时，所述支撑轴具有260μm或更小的最大弯曲值。