[发明专利]支撑夹具和制造磁性记录介质用玻璃基板的方法有效
申请号: | 201210194044.3 | 申请日: | 2012-06-13 |
公开(公告)号: | CN102825534A | 公开(公告)日: | 2012-12-19 |
发明(设计)人: | 鹿岛出;吉宗大介 | 申请(专利权)人: | 旭硝子株式会社 |
主分类号: | B24B29/02 | 分类号: | B24B29/02 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 黄刚;车文 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 支撑 夹具 制造 磁性 记录 介质 玻璃 方法 | ||
技术领域
本发明涉及用于支撑玻璃基板的支撑夹具及利用支撑夹具制造磁性记录介质用玻璃基板的方法。
背景技术
近年来,随着磁性记录介质的记录密度的增加,对玻璃记录介质所要求的特性变得越来越严格。尤其是,在对中心处具有圆形孔的磁性记录介质用玻璃基板的圆盘形状的玻璃基板的边缘进行抛光的情况下,对玻璃基板的边缘形状和尺寸的质量要求的特性变高。
磁性记录介质用玻璃基板在其制造过程中经受周表面抛光,以便去除在玻璃基板的外周和/或内周侧表面部分和倒角部分上的刮痕和粗糙部并将这些部分精加工成平坦的且光滑的镜面。通过将玻璃基板的侧表面部分和倒角部分精加工成平坦的且光滑的镜面来提高玻璃基板的机械强度。此外,由侧表面部分和倒角部分上的粗糙部所捕捉的异物的数目被减少且由侧表面部分和边缘部分上的粗糙部刮擦盒式磁带的树脂构件而产生的颗粒被减少。
例如通过将支撑夹具插入由将玻璃基板进行叠层而获得的玻璃基板叠层体的圆形孔内、将叠层体安装在周表面抛光机器上并且用抛光刷抛光外周表面来进行玻璃基板的外周表面抛光。在该情形中,专利文献1公开了配备抛光浆料温度控制装置的周表面抛光机器。通过在借助抛光浆料温度控制装置控制抛光浆料温度的同时进行抛光,可以稳定抛光速率且可延长旋转刷的寿命。
[专利文献1]JP-A-2007-98484
发明内容
然而,专利文献1中公开的方法具有如下问题,即在将抛光刷压向玻璃基板叠层体的外周表面的过程中玻璃基板叠层体的支撑夹具翘曲并且在玻璃基板叠层体批次中尺寸精度和内外周同心度不同。
鉴于上述内容,本发明的目的是提供即使将抛光刷压向玻璃基板叠层体的外周表面也不翘曲并且使均匀对玻璃基板叠层体的外周表面进行抛光成为可能的支撑夹具。
根据本发明,提供了一种支撑夹具,用于支撑多个磁性记录介质用圆盘形状的玻璃基板,在圆盘形状的玻璃基板的中心具有圆形孔,其中所述支撑夹具包括支撑轴,所述支撑轴插入所述圆形孔内以将所述多个磁性记录介质用玻璃基板的径向方向的位置对齐;并且所述支撑轴具有150GPa或更大的杨氏模量。
根据本发明,展现出以下效果。
可提供即使将抛光刷压向玻璃基板叠层体的外周表面也不翘曲并且使得均匀地对玻璃基板叠层体的外周表面进行抛光成为可能的支撑夹具。
附图说明
图1是根据本发明的制造玻璃基板的方法、用于解释玻璃基板的构造的透视横截面视图。
图2(a)和2(b)是示出本发明的支撑夹具的一个示例的示意图。
图3(a)和3(b)是用于解释使用图2的支撑夹具保持玻璃基板的状态的示意图。
附图标记说明
1:玻璃基板
2:主表面
3:圆形孔
4:外周表面
5:外周侧表面部分
6:外周倒角部分
7:内周表面
8:内周侧表面部分
9:内周倒角部分
10:支撑夹具
11:支撑轴
12:保持部分
13:固定部分
14:间隔件
15:隔板
具体实施方式
下面参考附图描述根据本发明的实施方式。
描述了由本发明的支撑夹具支撑并经受抛光的磁性记录介质用玻璃基板的构造。图1示出了用于解释玻璃基板的构造的透视横截面视图的示例。在图1中,玻璃基板1具有环形形状,在主表面2的中心处具有圆形孔3。玻璃基板1的外周侧处的侧表面为外周表面4,且圆形孔3的侧表面为内周表面7。外周表面4包括与主表面2成90°角的外周侧表面部分5以及与主表面2和外周侧表面部分5接触的外周倒角部分6。内周表面7包括与主表面2成90°角的内周侧表面部分8以及与主表面2和内周侧表面部分8接触的内周倒角部分9。
[支撑夹具]
下面参考附图详细描述本发明的支撑夹具的构造以及利用支撑夹具对玻璃基板的外周表面进行抛光的方法。
图2(a)和图2(b)示出了根据本发明的支撑夹具10的一个示例的示意图。支撑夹具10包括圆形杆形支撑轴11、在支撑轴11的至少一端处通过螺钉等可移除的保持部分12以及在支撑轴11的另一端处的固定部分13。固定部分13可具有通过螺钉等可移除的结构,与保持部分12类似。图2示出如下结构,在该结构中,在支撑轴11中形成阴螺纹且在保持部分12上形成阳螺纹,但支撑轴11可具有阳螺纹且保持部分12可具有阴螺纹。
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