[发明专利]湿式蚀刻设备及其供应装置

权利要求书

1.一种湿式蚀刻设备，包括：

机台，其具有用以储存流体的容置空间；

至少一供应件，其设于该机台上，且该供应件具有贯穿的供应道，该供应道连通该机台的容置空间，以令该容置空间中的流体经该供应道移至该机台外；以及

调整件，其具有相邻的信道与回收道，该信道用以容置该供应件，以使流经该供应件的流体由该信道输出，且该回收道连通该机台的容置空间。

2.根据权利要求1所述的湿式蚀刻设备，其特征在于，该机台具有定位件，供该供应件设置于该定位件上，以借该定位件带动该供应件与调整件至所需的位置。

3.根据权利要求2所述的湿式蚀刻设备，其特征在于，该机台具有可程序逻辑控制系统，以操控该定位件的运作及该流体的运动，并操控该回收道的运作。

4.根据权利要求1所述的湿式蚀刻设备，其特征在于，该供应件为喷嘴。

5.根据权利要求1所述的湿式蚀刻设备，其特征在于，该供应件为多个时，由至少二该供应件构成一组供应单元。

6.根据权利要求1所述的湿式蚀刻设备，其特征在于，该供应件为多个时，该些供应件呈数组排设。

7.根据权利要求1所述的湿式蚀刻设备，其特征在于，该回收道的端口与该信道的端口具有高度差。

8.根据权利要求1所述的湿式蚀刻设备，其特征在于，该回收道围绕于该信道的外侧。

9.一种湿式蚀刻设备用的供应装置，其包括：

供应件，其具有贯穿的供应道，以输送流体；以及

调整件，其具有相邻的信道与回收道，该供应件位于该信道中，以使流经该供应件的流体由该信道输出。

10.根据权利要求9所述的供应装置，其特征在于，该回收道的端口与该信道的端口具有高度差。

11.根据权利要求9所述的供应装置，其特征在于，该回收道围绕于该信道的外侧。