[发明专利]基于忆阻器和晶体管的存储器及实现多阻态的方法有效

专利信息
申请号: 201210195545.3 申请日: 2012-06-13
公开(公告)号: CN102709306A 公开(公告)日: 2012-10-03
发明(设计)人: 刘力锋;于迪;李悦;陈冰;张飞飞;韩德栋;王漪;康晋锋;张兴 申请(专利权)人: 北京大学
主分类号: H01L27/24 分类号: H01L27/24;G11C11/56
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 王莹
地址: 100871*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 基于 忆阻器 晶体管 存储器 实现 多阻态 方法
【权利要求书】:

1.一种基于忆阻器和晶体管的存储器,其特征在于,包括串联的高迁移率晶体管和忆阻器,所述高迁移率晶体管是以锗或者III-V族材料作为衬底和沟道材料的MOS晶体管。

2.如权利要求1所述的存储器,其特征在于,所述III-V族材料为砷化镓。

3.如权利要求1或2所述的存储器,其特征在于,所述忆阻器自下而上包括底电极、阻变层和顶电极。

4.如权利要求3所述的存储器,其特征在于,若所述忆阻器的底电极、阻变层和顶电极分别为Pt(BE)、HfO2和TiN(TE)时,则在所述底电极和高迁移率晶体管之间设有粘附层。

5.如权利要求4所述的存储器,其特征在于,所述粘附层设于所述底电极与所述高迁移率晶体管的漏极之间。

6.一种利用权利要求1~5中任一项所述的存储器实现多阻态的方法,其特征在于,包括以下步骤:

在所述忆阻器件的RESET过程中,对所述忆阻器件施加栅压V4,同时在所述高迁移率晶体管的源端施加足够大的正偏压,并将忆阻器件的顶电极接地,使所述忆阻器件反偏进入最高阻态;

将所述栅压依次减小到V3、V2、V1,减小栅压的过程中始终将所述高迁移率晶体管的源端接地,使得忆阻器件的顶电极正偏,进入所述忆阻器件的SET过程,所述SET过程中采用V1、V2、V3的栅压获得所述忆阻器件的低阻态时的阻值分别为LRS1、LRS2、LRS3,其中,V4>V3>V2>V1,LRS1>LRS2>LRS3。

7.如权利要求6所述的方法,其特征在于,阻值LRS1与LRS2,以及LRS2与LRS3之间的阻值比为大于5。

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