[发明专利]一种真空镀膜机

权利要求书

1.一种真空镀膜机，包括真空镀膜室、温度控制系统、膜厚控制系统和蒸发控制系统，其特征在于，所述真空镀膜室包括隔断装置，所述隔断装置包括隔板和驱动装置，所述驱动装置和隔板连接，控制隔板的开启和关闭。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于，所述驱动装置和蒸发控制系统连接，所述蒸发控制系统启动时，发开启信号给驱动装置，所述驱动装置运行关闭隔板，所述蒸发控制系统关闭时，发关闭信号给驱动装置，所述驱动装置运行开启隔板。

3.根据权利要求2所述的真空镀膜机，其特征在于，所述驱动装置还和温度控制系统连接，所述温度控制系统启动时，发开启信号给驱动装置，所述驱动装置运行关闭隔板，所述温度控制系统关闭时，发关闭信号给驱动装置，所述驱动装置运行开启隔板。

4.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于，所述隔板表面镀有惰性材料。

5.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于，所述真空镀膜室内表面镀有惰性材料

根据权利要求4或5所述的真空镀膜机，其特征在于，所述惰性材料为氧化铝层或氧化锆层。

6.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于，所述隔断装置还包括导轨，所述隔板安装在导轨上。