[发明专利]发光器件及其制造方法有效
申请号: | 201210200200.2 | 申请日: | 2003-03-07 |
公开(公告)号: | CN102709493A | 公开(公告)日: | 2012-10-03 |
发明(设计)人: | 山崎舜平;村上雅一;濑尾哲史 | 申请(专利权)人: | 株式会社半导体能源研究所 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 汤春龙;朱海煜 |
地址: | 日本神奈*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 发光 器件 及其 制造 方法 | ||
技术领域
本发明涉及采用发光元件的发光器件,此发光元件借助于将电场施加到具有在一对电极之间包括有机化合物的膜(以下描述为“有机化合物层”)的元件发射荧光或磷光,并涉及此发光器件的制造方法。而且,此说明书中的发光器件包括图象显示器件、发光器件或光源(包括照明器件)。而且,发光器件还包括安装有连接器例如FPC(柔性印刷电路)或TAB(带自动键合)带或TCP(带载体封装件)的发光器件的所有模块、在TAB带或TCP的前端配备有印刷电路板的模块、以及其中发光元件被COG(玻璃上芯片)系统直接与IC安装的模块。
背景技术
以形状薄、重量轻、响应高、以及直流电压驱动为特征的采用有机化合物的发光元件,有希望被用作下一代平版显示器的发光体。确切地说,在类似矩阵的形状中排列有发光元件的显示器件,由于宽广的视角和光识别性能优异,而看来优于相关技术的液晶显示器件。
根据发光元件的发光机制,一般认为借助于将有机化合物层插入在一对电极之间并施加电压,从阴极注入的电子和从阳极注入的空穴在有机化合物层中的发光中心处被复合,从而形成分子激子,且当分子激子返回到基态时,能量被释放,从而发光。已知在激发态中存在着单重态激发和三重态激发,且看来能够以二种激发态中的任何一种来发光。
对于借助于在类似矩阵的形状中排列发光元件而形成的这种显示器件,可以使用无源矩阵驱动(简单矩阵型)和有源矩阵驱动(有源矩阵型)的驱动方法。但当象素密度被提高时,由于有源矩阵型能够在低电压下被驱动,故各个象素(或点)配备有开关的有源矩阵型是有优点的。
而且,虽然低分子形式材料和高分子形式(聚合物形式)材料分别被研究作为构成被认为是发光元件核心的有机化合物层(严格地说是发光层)的有机化合物,更多的注意力被倾注到容易处置的且抗热性比低分子形式材料高的高分子形式材料。
而且,虽然有已知的有机化合物成膜方法,例如气相淀积方法、甩涂方法、以及喷墨方法,但作为利用高分子形式材料来实现全色形成的一种方法,甩涂方法和喷墨方法是众所周知的。
但当采用甩涂方法时,有机化合物被形成在整个成膜表面上,因此,难以选择性地形成这样一种膜,其中有机化合物仅仅被形成在有意形成膜的部分处而在不需要形成膜的部分处不形成膜。
而且,有源矩阵型发光器件被制作成具有用来将电信号从外部电源输入到制作在衬底上的驱动电路的布线以及用来电连接包含阴极、阳极、和由形成在象素部分的有机化合物形成的有机化合物层的发光元件与外部电源的布线,因此,当有机化合物被形成在连接到外部电源的布线部分时,就出现无法与外部电源达到欧姆接触的问题。
同时,根据作为选择性地形成高分子形式有机化合物的方法的喷墨方法,虽然用来发射3种(R,G,B)光的各个有机化合物能够在一个步骤中被涂敷并分开,但成膜的精度很差,难以控制,因而均匀性达不到,且容易造成分散。喷嘴间距的分散、墨水飞越弯度的分散、平台配合精度的分散、以及墨水释放与平台移动的定时的分散,是喷墨方法中分散的原因。例如,存在着执行条件中的问题,其中用于墨水喷射的喷嘴被借助于将有机化合物溶解在溶剂中而制备的墨水的内部粘滞阻力堵塞,以及从喷嘴喷射的墨水不命中所希望的位置,以及存在着实际使用中的问题,其中对具有高精度的平台、自动对准机构、和喷墨头的专用设备的要求变得很费钱。而且,墨水在命中之后扩展,因此需要一定程度的裕度作为相邻象素之间的间隔,从而难以高精细制作。
发明内容
因此,本发明的目的是提供一种比采用喷墨方法更简单的用高分子形式有机化合物在有源矩阵型发光器件中选择性地形成高分子形式材料层的方法。而且其目的是简单地形成一种结构,其中借助于使得能够选择性地形成高分子形式材料层,有机化合物层不被形成在连接到外部电源的布线的连接部分。
而且,根据发光器件,有这样的问题,即外部景观由于被象素处不发光的阴极背面(与发光层接触的一侧上的表面)反射的外部入射光(发光器件外部的光)而被成像在观察面(指向观察者的表面)上。而且,为了避免此问题,发明了将圆偏振光膜贴在发光器件观察面上,从而防止外部景观被成像在观察面上,但圆偏振光膜非常昂贵,因此具有增加制造成本的问题。
根据本发明,用涂敷方法,在连接到薄膜晶体管的下电极的整个表面上形成了包含高分子形式材料的膜,然后用等离子体腐蚀方法对包含聚合物(高分子材料)的膜进行腐蚀,从而能够选择性地形成高分子形式材料层。
根据涉及到本说明书公开的一种制造方法的本发明的情况1,提供了一种制造发光器件的方法,此方法包含:
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