[发明专利]一种IGBT功率模块有效
申请号: | 201210201158.6 | 申请日: | 2012-06-18 |
公开(公告)号: | CN102693969A | 公开(公告)日: | 2012-09-26 |
发明(设计)人: | 庄伟东 | 申请(专利权)人: | 南京银茂微电子制造有限公司 |
主分类号: | H01L25/07 | 分类号: | H01L25/07;H01L23/373 |
代理公司: | 江苏致邦律师事务所 32230 | 代理人: | 樊文红 |
地址: | 211200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 igbt 功率 模块 | ||
1. 一种IGBT功率模块,由底板、IGBT芯片和FWD芯片组成,其特征是,所述IGBT芯片反面的集电极和所述IGBT芯片反面的阴极分别通过第一焊料层连接于所述底板的上表面,所述IGBT芯片正面的发射极通过第二焊料层连接有第一导电层,FWD芯片正面的阳极通过第二焊料层连接有第二导电层,所述IGBT芯片、第二焊料层和第一导电层的层叠高度,与所述FWD芯片、第二焊料层和第二导电层的层叠高度相同,发射极表面电极通过第三焊接层连接与所述第一和第二导电层之上,并将所述第一、第二导电层以及外部的信号端子和功率端子连接在一起。
2.根据权利要求1所述的IGBT功率模块,其特征是,所述底板为金属板,所述金属板的热膨胀系数接近芯片的热膨胀系数,金属板的厚度选择在1.0毫米至5.0毫米的范围内。
3. 根据权利要求1所述的IGBT功率模块,其特征是,所述底板是陶瓷覆铜基板,所述陶瓷覆铜基板由从上至下层叠的上表面铜层、陶瓷绝缘层和表面铜层组成,所述陶瓷绝缘层厚度选在0.3mm至3mm之间。
4. 根据权利要求1所述的IGBT功率模块,其特征是,所述发射极表面电极为纯铜层;所述第一和第二导电层厚度选择在0.5毫米至3.0毫米的范围。
5. 根据权利要求1所述的IGBT功率模块,其特征是,在所述IGBT芯片和所述FWD芯片之间的空隙,灌装有绝缘材料。
6.根据权利要求2所述的IGBT功率模块,其特征是,所述金属板的材料为钼金属或铜-钼合金或铜-钨合金,所述金属板表面镀有镍层或镍银合金层。
7. 根据权利要求2所述的IGBT功率模块,其特征是,所述第一和第二导电层采用和所述金属板相同的材料。
8. 根据权利要求3所述的IGBT功率模块,其特征是,所述陶瓷绝缘层的材料为氧化铝、氮化铝或者氮化硅,所述第一和第二导电层采用热膨胀系数与硅接近的高导电材料。
9. 根据权利要求3所述的IGBT功率模块,其特征是,所述IGBT芯片还设有发射极引出电极,发射极引出电极底面连接在基陶瓷覆铜板上,所述发射极引出电极的顶面和所述发射极表面电极连接。
10. 根据权利要求3所述的IGBT功率模块,其特征是,所述陶瓷覆铜基板的周边延伸出一定宽度的陶瓷绝缘层。
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