[发明专利]一种IGBT功率模块有效
申请号: | 201210201158.6 | 申请日: | 2012-06-18 |
公开(公告)号: | CN102693969A | 公开(公告)日: | 2012-09-26 |
发明(设计)人: | 庄伟东 | 申请(专利权)人: | 南京银茂微电子制造有限公司 |
主分类号: | H01L25/07 | 分类号: | H01L25/07;H01L23/373 |
代理公司: | 江苏致邦律师事务所 32230 | 代理人: | 樊文红 |
地址: | 211200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 igbt 功率 模块 | ||
技术领域
本发明涉及一种IGBT功率模块,该IGBT功率模块是制备压接式超高压、超大功率IGBT模组的基本单元。
背景技术
绝缘栅极双极晶体管(IGBT)模块可以由一个IGBT芯片和一个FWD芯片组成,也可以由多个IGBT芯片和FWD芯片组成,以制备不同功率等级和电路结构的IGBT模块。电路如图1所示IGBT功率模块由一个IGBT和一个续流二极管(FWD)组成;当模块需要更大的输出功率,而单个IGBT芯片又无法满足使用要求时,通常必须将多个图1所示的功率单元进行并联,如图2所示:并联以后的IGBT功率单元,可以作为模块制造的基本单元,进一步连接成所需的电路结构。
制造IGBT功率模块的关键技术之一是超声波键合,它是IGBT发射极、FWD阳极和外部电路连接的主要方式。由于有限的铝线线径,为了增加电流承载能力,IGBT模块通常必须键合多根铝线通过并联来获得大电流输出;虽然超声波铝线键合是目前制造IGBT功率模块的主流技术,但是它限制了制造叠层式模块的可能性,而且铝线本身存在较大的分布电感,也限制了模块性能的发挥。
正面可焊IGBT芯片的出现,为叠层式IGBT模块的发展提供了基础。由于不再采用铝线键合,可以使模块内部的分布电感大为降低。叠层式IGBT模块使双面散热成为可能,通过合理的设计,可以使同等的IGBT输出更大的电流。
发明内容
本发明的内容在于克服现有技术的缺陷,提供一种IGBT功率模块,该功率模块中IGBT芯片和FWD芯片的连接采用叠层式,可以双面散热,并可以获得更高的功率密度,从而为功率系统的小型化提供了更多的空间。
实现本发明目的的技术方案是:一种IGBT功率模块,由底板、IGBT芯片和FWD芯片组成,所述IGBT芯片反面的集电极和所述IGBT芯片反面的阴极分别通过第一焊料层连接于所述底板的上表面,所述IGBT芯片正面的发射极通过第二焊料层连接有第一导电层,FWD芯片正面的阳极通过第二焊料层连接有第二导电层,所述IGBT芯片、第二焊料层和第一导电层的层叠高度,与所述FWD芯片、第二焊料层和第二导电层的层叠高度相同,发射极表面电极通过第三焊接层连接与所述第一和第二导电层之上,并将所述第一、第二导电层以及外部的信号端子和功率端子连接在一起。
上述技术方案中,所述底板可以为金属板,金属板的热膨胀系数尽量接近芯片的热膨胀系数,可以满足以上要求的有三种金属材料,其一为钼金属,其二为铜-钼和铜-钨合金。底板的厚度可以选择在1.0毫米至5.0毫米的范围。所述第一和第二导电层采用和所述金属板相同的材料。所述第一和第二导电层厚度可以选择在0.5毫米至3.0毫米的范围,优选为0.5毫米至1.5毫米。
作为本发明的进一步改进,为了方便焊接,所述金属板表面镀有镍层或镍银合金层。
作为本发明的进一步改进,所述表面电极为纯铜层。
上述技术方案中,所述底板还可以是陶瓷覆铜基板,所述陶瓷覆铜基板由从上至下层叠的上表面铜层、陶瓷绝缘层和表面铜层组成。
作为本发明的进一步改进,所述陶瓷绝缘层的厚度,根据耐压要求选取,材料可采用绝缘和导热性良好的氧化铝、氮化铝或者氮化硅。陶瓷绝缘层厚度可以选在0.3mm至3mm之间。
作为本发明的进一步改进,在所述IGBT芯片和所述FWD芯片之间的空隙,灌装有绝缘材料。通过灌装绝缘材料,例如环氧树脂,来进一步降低芯片应力,提高功率单元的绝缘耐压能力。
作为本发明的进一步改进,所述陶瓷覆铜基板的周边延伸出一定宽度的陶瓷绝缘层,在经过绝缘灌封材料处理后,此部分陶瓷材料可以保证功率单元足够的爬电距离。
本发明的有益效果在于,IGBT芯片和FWD芯片的连接采用叠层式结构,具有更好的导热性能,可以双面散热,且结构紧凑,可以获得更高的功率密度。
附图说明
图1是IGBT功率模块的一种电路结构图;
图2是IGBT功率模块的另一种电路结构图;
图3是本发明实施例1的IGBT功率模块结构示意图;
图4是本发明实施例2的IGBT功率模块结构示意图;
图5是本发明实施例2的IGBT功率模块正面结构示意图;
图6是本发明实施例2的IGBT功率模块的剖视图。
具体实施方式
下面结合实施例做进一步说明。
实施例1
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