[发明专利]应用于点测装置的平板探针结构及其制作方法

权利要求书

1.一种应用于点测装置的平板探针结构，其特征在于，所述平板探针结构包含有:

一探针主体，具有一延伸段、一固定段及一设于该延伸段与该固定段之间的梁柱段，该延伸段及该固定段分别与该梁柱段相夹一第一夹角及一第二夹角；

一平板针，具有一针身以及一针尖，该针身具有一与该延伸段结合的第一端以及一相对该第一端的第二端，该第二端具有一包括一底面的容置槽，该针尖以微机电制程形成于该容置槽，该针尖具有一附着于该底面的接合面、一相对该接合面且设于该容置槽外的点测端面以及设于该接合面与该点测端面之间且彼此相对的一第一侧壁及一第二侧壁，该接合面具有两分别与该第一侧壁及该第二侧壁相交的长边缘及两与该长边缘垂直的短边缘，且该点测端面与该第一侧壁及该第二侧壁间分别形成一倾斜角。

2.如权利要求1所述的应用于点测装置的平板探针结构，其特征在于，该倾斜角的范围介于85°至150°之间。

3.如权利要求1所述的应用于点测装置的平板探针结构，其特征在于，所述接合面具有一大于该点测端面的面积。

4.如权利要求1所述的应用于点测装置的平板探针结构，其特征在于，所述第一夹角介于110°至130°之间，所述第二夹角介于80°至100°之间。

5.如权利要求1所述的应用于点测装置的平板探针结构，其特征在于，所述针尖具有垂直该第一侧壁与该第二侧壁且彼此相对的两顶壁，该容置槽具有与该两顶壁相接触以夹持该针尖的两夹壁，该固定销穿透该两夹壁以及该两顶壁而固定该针尖于该容置槽内。

6.一种应用于点测装置的平板探针结构，其特征在于，所述平板探针结构包含有:

一探针主体，具有一延伸段、一固定段及一设于该延伸段与该固定段之间的梁柱段，该延伸段及该固定段分别与该梁柱段相夹一第一夹角及一第二夹角；

一平板针，具有一第一针身、一第二针身以及一设置于该第一针身及该第二针身之间的针片，该第一针身及该第二针身分别具有一与该延伸段结合的第一端以及一相对该第一端的第二端，该针片具有分别与该第一针身及该第二针身连接的一第一连接壁及一第二连接壁、垂直并连接该第一连接壁及该第二连接壁且彼此相对的一第一侧壁及一第二侧壁，以及一设于该第一针身及该第二针身外的点测端面，该点测端面与该第一侧壁及该第二侧壁间分别形成一倾斜角。

7.如权利要求6所述的应用于点测装置的平板探针结构，其特征在于，所述第一侧壁及该第二侧壁各包括分别与该点测端面二侧相连接的一第一倾斜面与一第二倾斜面。

8.如权利要求7所述的应用于点测装置的平板探针结构，其特征在于，所述第一侧壁还包括一自该第一倾斜面延伸且与该接合面之短边缘相接的第一平直面，且该第二侧壁还包括一自该第二倾斜面延伸且与该接合面之短边缘相接的第二平直面。

9.如权利要求6所述的应用于点测装置的平板探针结构，其特征在于，所述第一侧壁及该第二侧壁各包括分别与该点测端面二侧相连接的一第一弯曲面及一第二弯曲面。

10.如权利要求7所述的应用于点测装置的平板探针结构，其特征在于，所述第一侧壁还包括一自该第一弯曲面延伸且与该接合面之短边缘相接的第一平直面，且该第二侧壁还包括一自该第二弯曲面延伸且与该接合面之短边缘相接的第二平直面。

11.如权利要求6所述的应用于点测装置的平板探针结构，其特征在于，所述延伸段的凹穴与该第一针身及该第二针身的第一端之间填充有一焊料。

12.如权利要求6所述的应用于点测装置的平板探针结构，其特征在于，所述倾斜角的范围介于85°至150°之间。

13.如权利要求6所述的应用于点测装置的平板探针结构，其特征在于，所述第一针身及该第二针身分别之第一端具有一大于其第二端之外径。

14.如权利要求6所述的应用于点测装置的平板探针结构，其特征在于，所述梁柱段是沿一平行于该针片的一片体方向延伸。

15.如权利要求6所述的应用于点测装置的平板探针结构，其特征在于，所述第一针身以及该第二针身之第二端形成有彼此相对的一第一倒角部与一第二倒角部。