[发明专利]玻璃基板卡匣的检测装置有效
申请号: | 201210203237.0 | 申请日: | 2012-06-19 |
公开(公告)号: | CN102721692A | 公开(公告)日: | 2012-10-10 |
发明(设计)人: | 李贤德;吴俊豪;林昆贤;齐明虎;陈增宏;汪永强;杨卫兵;郭振华;蒋运芍;舒志优 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G01N21/84 | 分类号: | G01N21/84 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 何青瓦;丁建春 |
地址: | 518000 广东省深圳市光明新区公*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 玻璃 板卡 检测 装置 | ||
1.一种玻璃基板卡匣的检测装置,所述玻璃基板卡匣沿竖直方向设置有用于支撑玻璃基板的多个支撑面,其特征在于,所述检测装置包括沿所述竖直方向分布且分别与所述多个支撑面对应的多个检测单元,以同时对所述每个支撑面上是否存在所述玻璃基板以及所述每个支撑面上的所述玻璃基板是否存在异常进行检测。
2.根据权利要求1所述的检测装置,其特征在于,每一所述检测单元包括一投光部和一受光部,所述投光部用于向对应的所述支撑面的被检测位置投射检测光,所述受光部用于接收经所述被检测位置反射的所述检测光,所述检测装置进一步处理单元,用于判断反射的所述检测光是否处于预定范围。
3.根据权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述检测装置进一步包括固定元件,所述固定元件用于沿所述竖直方向固定所述多个检测单元。
4.根据权利要求3所述的检测装置,其特征在于,所述固定元件位于所述卡匣的外侧。
5.根据权利要求3所述的检测装置,其特征在于,所述卡匣沿水平方向设置有至少两组所述多个支撑面,所述检测装置进一步包括至少一条水平滑轨,所述固定元件滑动固定于所述水平滑轨,使所述多个检测单元能够依次检测每组所述多个支撑面。
6.根据权利要求5所述的检测装置,其特征在于,所述检测装置进一步包括一驱动电机,用于驱动所述固定元件沿所述水平滑轨滑行。
7.根据权利要求6所述的检测装置,其特征在于,所述水平滑轨为两条,所述两条水平滑轨互相平行且位于同一竖直平面内。
8.根据权利要求3所述的检测装置,其特征在于,所述卡匣沿水平方向设置有两组所述多个支撑面,所述检测装置进一步包括旋转支撑装置,所述固定元件被所述旋转支撑装置支撑且可绕沿所述竖直方向设置的转轴旋转,以使所述多个检测单元能够依次检测每组所述多个支撑面。
9.根据权利要求8所述的检测装置,其特征在于,所述支撑装置沿所述竖直方向同时支撑所述固定元件的顶端和底端。
10.根据权利要求8所述的检测装置,其特征在于,所述检测装置进一步包括一驱动电机,用于驱动所述固定元件绕所述转轴旋转。
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