[发明专利]一种测试多晶硅碳氧含量的方法无效
| 申请号： | 201210205293.8 | 申请日： | 2012-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN102735641A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 张驰;熊震;付少永 | 申请（专利权）人： | 常州天合光能有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/35 | 分类号： | G01N21/35 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 路接洲 |
| 地址： | 213031 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 测试 多晶 硅碳氧 含量 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种测试多晶硅碳氧含量的方法，其特征在于包括以下步骤：
第一步、取样：选取一个多晶硅晶棒，沿着晶锭生长方向切片取样；
第二步、选取测试区：选择单个晶粒，用激光在单个晶粒内部切割取样并标识；
第三步、化学抛光：将上述样片置于HF酸与HNO3酸的混酸溶液中浸泡，VHF：VHNO3：VDIwater=1-1.5：2-4.5：1.7-3.0；
第四步、清洗：将上述样片置于去离子水中漂洗，冷风吹干；
第五步、测试：将上述样片利用红外光谱法测试。
2.如权利要求1所述的一种测试多晶硅碳氧含量的方法，其特征在于：所述的第一步中的取样样片厚度为1mm~3mm。
3.如权利要求1所述的一种测试多晶硅碳氧含量的方法，其特征在于：所述的第三步中的浸泡时间：5-20min。
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